用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究

发布时间：2018-07-10 05:59

  本文选题：不锈钢 + 碱性抛光液　； 参考：《金刚石与磨料磨具工程》2016年02期

【摘要】：为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了pH值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:不同氧化剂的抛光液在各自的最佳pH值时达到最大的材料去除率,分别为181nm/min(H_2O_2抛光液,pH=9),177nm/min(Cr_2O_3抛光液,pH=11),172nm/min(Na2Cr_2O_7抛光液,pH=11)和147nm/min(NaClO抛光液,pH=13);抛光液中氧化剂含量、pH值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中,材料去除率较高的H_2O_2和Cr_2O_3可作为304不锈钢化学机械抛光碱性抛光液的氧化剂。
[Abstract]:In order to improve the processing effect of chemical-mechanical polishing, we studied the effects of pH value, oxidant type and oxidant content on the material removal rate and surface roughness. The results showed that the maximum material removal rate was obtained at the optimum pH value of different oxidants. The results are as follows: 181nm/min (H _ 2O _ 2 polishing solution pH ~ (9) and 177nm 路min ~ (-1) ~ (-1) ~ (17) nm / min) (Na _ 2Cr _ 2O _ 7 polishing solution pH ~ (11) and 147nm/min (NaClO) polishing solution pH ~ (13). The effect of oxidant content and pH value in polishing solution on surface roughness of polished stainless steel is less. Among them, H _ s _ S _ 2O _ 2 and Cr _ S _ 2O _ 3, which have higher material removal rate, can be used as oxidant of alkaline polishing solution for chemical and mechanical polishing of 304 stainless steel.
【作者单位】： 河南科技学院机电学院;驻马店技师学院机械工程系;河南理工大学机械与动力工程学院;
【基金】：国家自然科学基金面上项目(No.51375149)
【分类号】：TG175.1;TG580.692

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本文编号：2112341