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铜银/金复合键合丝镀层形成机制及冷拔成形行为

发布时间:2021-02-08 17:19
  金键合丝和铜键合丝广泛应用于半导体封装行业,而金价的攀升和半导体封装体量的激增,促进了铜键合丝内源式的显著进步,但抗氧化性差的缺点限制了其在封装行业的应用范围,研究制备抗氧化铜基复合键合丝是当前的研究热点之一。银、金具有优异的抗氧化性能,且与铜具有相同的变形滑移机制。银、金表面改性铜基复合键合丝,兼具铜的价格优势和银、金优异的氧化性,在半导体封装领域具有广阔的应用前景。本文选择粗铜棒作为基材电镀银或者金层,采用冷拔和退火的方式制备铜银和铜金复合键合丝。采用扫描电镜、透射电镜和X射线衍射对铜基银/金电镀过程和冷拔成形过程的微观组织进行表征,研究其对制备铜银和铜金复合键合丝的影响。并探索了使用透射电镜和X射线衍射来表征电镀银、金层晶粒外形择优取向的可行性,得到如下结论:采用透射电镜对铜银界面(烟酸电镀银)进行显微分析:中间层纳米级银晶粒是由化学镀银和电化学镀银竞争反应形成;由电化学镀银反应主导形成的柱状银颗粒垂直于铜基表面生长。引入MarchDollase函数对铜板银镀层进行分析:随着电镀时间的延长和电流密度的增加,晶粒<111>外形择优取向程度增加、应变能增加;银镀层厚度与电... 

【文章来源】:太原理工大学山西省 211工程院校

【文章页数】:153 页

【学位级别】:博士

【部分图文】:

铜银/金复合键合丝镀层形成机制及冷拔成形行为


合金线在电子元器件(IC)中的应用Fig.1-1Theapplicationofbondingwiresinelectroniccomponents

合金线,发光二极管


图 1-2 合金线在发光二极管(LED)上的应用Fig. 1-2 The application of bonding wires in Light Emitting Diode

金属-氧化物-半导体,合金线,键合


图 1-3 合金线在互补金属-氧化物-半导体(C-MOS)上的应用ig. 1-3 The application of bonding wires in complementary Metal-Oxide-Semiconduc泛应用的键合丝有金键合丝[13]、银键合丝[14]、铝键合丝[15]和铜键合丝不同,其性能存在较大差异,因而应用的范围也存在显著的区别,下

【参考文献】:
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硕士论文
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本文编号:3024273

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