Mo离子注入和离子渗硫对TiN涂层微观结构和表面性能的影响

发布时间：2021-02-11 14:15

　　为进一步改善氮化钛涂层的摩擦学性能,分别采用高剂量Mo离子注入和低温离子渗硫技术对Ti N涂层表面进行处理。采用扫描电子显微镜（SEM）、光学形貌仪、扫描俄歇系统（SAM）、X射线衍射仪（XRD）和纳米压痕仪等分析Ti N涂层处理前后的表面形貌、元素分布、微观结构和纳米硬度。利用球盘摩擦磨损试验机在干摩擦条件下考察涂层的摩擦学性能,并利用光学形貌仪和SEM进行磨损表面分析。结果表明,大剂量Mo离子注入后,Ti N涂层表面Mo离子深度接近200 nm,涂层硬度明显降低,涂层磨损剧烈程度得到显著改善,磨损率和摩擦因数分别降低约35%和40%;低温离子渗硫复合处理后,Ti N涂层表面溅射明显,Mo的深度降低约50%,摩擦学性能难以进一步明显改善。 

【文章来源】：中国表面工程. 2017,30(02)北大核心

【文章页数】：8 页

【参考文献】：
期刊论文
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[3]金属钼层表面渗硫层的表征与减摩耐磨性能研究[J]. 王海斗,徐滨士,刘家浚,庄大明.  稀有金属材料与工程. 2005(10)
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博士论文
[1]TiN-W/Mo（Sx）复合涂层的制备、结构和摩擦学性能研究[D]. 田斌.中国地质大学（北京） 2014



本文编号：3029233