面向某物理气相沉积设备的仿真软件开发

发布时间：2021-11-19 19:05

　　为了提高物理气相沉积设备的性能与效率,本文对物理气相沉积设备仿真软件的系统架构、历史数据分析方法、数值模拟、动画仿真方法及系统安全性技术等进行了较为深入系统的研究。根据某物理气相沉积设备的操作流程,确定了物理气相沉积设备仿真软件的总体框架,基于Visual C#与.NET框架,采用C/S架构分别对客户端及服务器端软件进行了开发,利用MySQL软件对服务器端物理气相沉积设备实际运行中产生的历史数据进行管理,设计了软件的运行流程,确定了软件具体功能模块（数据分析、参数优化、动画仿真等）,对模块功能进行了详细设计。构建了基于BP神经网络与RBF神经网络的预测模型,采用智能算法对这两种网络进行优化,保证了两种神经网络的学习效率与精度。通过神经网络算法实现了对物理气相沉积历史数据的学习以及对物理气相沉积结果的预测,实现了数据分析与参数优化的功能。运用Chart图表控件、SVG动画技术、Pro/E动画仿真技术对物理气相沉积过程进行数值模拟、二维以及三维动画仿真;对物理气相沉积设备仿真软件系统的安全性进行了设计,采用账户密码、权限管理以及数据加密的方式对技术信息以及历史数据进行了保护,确保了系统关键... 

【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：98 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

国产物理气相沉积设备

电子科技大学硕士学位论文目前，应用在高端电子设备中的高性能导电涂层均是欧洲的厂商进行制备的括 Apple，SAMSUNG 等公司生产的智能手机与平板电脑。例如 Bobst Manchestd.，Leybold optics，Applied Materials, Inc.等公司研制或设计的物理气相沉积设备图 1-2 所示[21]。我国企业为了获得高性能涂层产品的订单，只能花巨资从国口这些设备来生产可以达到标准的产品。因此，研制高性能物理气相沉积设有很高的经济价值和社会效益。

物理气相沉积设备历物理气相沉积流程中画模拟抽真空系统以积设备仿真软件的总—控制器）设计方法模式，其核心思想是分离开来，再通过一得软件系统有着良好模型）、V（视图）、C示；控制器则为用户担操作的功能，其本身Control

【参考文献】：
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本文编号：3505671