Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响

发布时间：2017-07-13 11:17

  本文关键词：Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响

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【摘要】：采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积多元CrMoAlN纳米多层薄膜.利用EDS,SEM,XRD,XPS,纳米压痕仪和销盘磨损试验仪研究Mo含量对CrMoAlN薄膜成分、表面和截面形貌、相结构、化学价态、显微硬度和摩擦性能的影响.结果表明,不同Mo含量的CrMoAlN薄膜均为fcc结构,Mo代替了Cr Al N晶格中部分Cr或Al的位置,形成了以fcc-Cr N相为基础的CrMoAlN置换固溶体.随着Mo含量提高,CrMoAlN薄膜表面颗粒尺寸明显减小,截面柱状晶结构逐渐消失.CrMoAlN薄膜的显微硬度和弹性模量随着Mo含量的增加而提高,摩擦系数和磨损率随着Mo含量的提高而降低.Mo含量为19.47%(原子分数)时,显微硬度与弹性模量均达到最大值29.70 GPa和427.53 GPa,摩擦系数和磨损率达到最小值0.271和1.2×10-16m3/(N·m).
【作者单位】： 浙江工业大学材料科学与工程学院;
【关键词】： CrMoAlN纳米多层薄膜 磁控溅射 微观结构 摩擦磨损性能
【基金】：浙江省自然科学基金资助项目Y15E050060~~
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： Manuscript received 2015-09-21,in revised form 2016-03-09Cr N硬质薄膜因具有较高的硬度、耐磨性、耐高温性及膜基结合强度等特性得到广泛应用[1~6].近年来,在Cr N硬质薄膜的基础上通过添加其它元素(例如Al[7],Ni[8],Si[9],V[10]等)形成多元硬质薄膜来进一步改善薄膜的硬

【参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：536736