沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响（英文）
本文关键词：沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响（英文）
【摘要】：采用磁控溅射工艺在WC-8Co硬质合金基体表面制备了一层厚度分别为2.5、3和3.5μm的TiAlN涂层,并制备了不同Ti、Al比例的TiAlN涂层,利用摩擦磨损机考察了涂层的承载能力和摩擦学性能,通过扫描电子显微镜观察了磨损试件的表面形貌,通过摩擦系数和显微组织的演变来评价不同成分和不同厚度TiAlN涂层的摩擦学性能。结果表明,随着涂层厚度的增加,涂层的摩擦系数降低,涂层更不易被磨穿,表明在一定范围内增加涂层厚度有利于提高涂层的耐磨损性能;涂层的成分发生改变时,由于Ti、Al元素的共同作用,呈现不同的摩擦性能,当Ti/Al比为50:50时,涂层的耐磨性最好。
【作者单位】： 华南理工大学表面功能结构先进制造广东省普通高校重点实验室;
【关键词】： 耐磨性 涂层 TiAlN
【基金】：National Nature Science Foundation of China(51275180) Major State Basic Research Development Program of China(“973” Program)(2011CB710703) Fundamental Research Funds for the Central Universities,SCUT(2013ZZ017)
【分类号】：TG174.4
【正文快照】： Owing to desirable characteristics such as high rigidity,high wear resistance,and small friction factor,Ti N coatings have been widely applied in industrial production[1-3].However,with wider applications,Ti N coatings also evidence unsatisfactory aspect
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本文编号：940087
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