熔石英元件抛光加工表面残余应力的计算方法

发布时间：2018-02-23 17:38

  本文关键词： 熔石英元件 残余应力 纳米压痕 亚表面裂纹 抛光加工表面　出处：《哈尔滨工业大学学报》2015年05期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为解决传统检测方法无法直接定量检测非晶体熔石英玻璃表面残余应力的问题,基于脆性固体断裂力学理论,推导残余应力的理论计算公式,提出光学元件抛光加工表面残余应力计算新方法.采用尖锐压头进行纳米印压实验,提取压痕过程中对残余应力敏感的参数,并对实验数据进行线性拟合,确定拟合线的斜率,通过测量残余应力引起其他物理参数的变化计算残余应力.对比分析结果表明,计算得到残余应力值与应力双折射仪检测得到的数据基本吻合,验证了提出残余应力计算方法的正确性.
[Abstract]:In order to solve the problem that the surface residual stress of amorphous fused quartz glass can not be detected directly by traditional testing method, the theoretical calculation formula of residual stress is derived based on the fracture mechanics theory of brittle solid. A new method for calculating residual stress on polishing surface of optical element is presented. The parameters sensitive to residual stress in the process of indentation are extracted by using sharp indenter to carry out nano-imprint experiments, and the slope of fitting line is determined by linear fitting of experimental data. The residual stress is calculated by measuring the variation of other physical parameters caused by residual stress. The results of comparison and analysis show that the calculated residual stress values are in good agreement with the data obtained by the stress birefringence instrument. The correctness of the proposed method is verified.
【作者单位】： 哈尔滨工业大学机电工程学院;中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金】：国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金(U1230110) 国家自然科学基金(51475106) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金(KF14007)
【分类号】：TG580.692

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1527015