大尺寸自由曲面铝反射镜超精密抛光工艺

发布时间：2018-03-15 07:20

  本文选题：超精密抛光　切入点：抛光工艺　出处：《纳米技术与精密工程》2015年02期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：针对大尺寸自由曲面铝反射镜在单点金刚石车削(SPDT)后出现的划伤、波纹等缺陷,研究了抛光介质和加工参数对自由曲面铝合金超精密抛光结果的影响.利用Wyko NT9300白光干涉仪和VHX500超景深显微镜对AA6061铝合金抛光表面进行了检测,将抛光前后的表面形貌以及不同条件下的抛光结果进行了比较.实验中采用质量分数不同的金刚石油性悬浮液作为抛光液,采用羊毛轮作为抛光轮,在一台精密加工中心上先后进行了平面抛光和自由曲面抛光实验.实验结果表明,工件的表面粗糙度Ra由抛光前的144.59 nm降低到了抛光后的6.03nm,其中油性润滑剂在抛光过程中起微量去除和降低划擦几率的关键作用,使用优化的工艺参数在AA6061自由曲面上获得了理想镜面.
[Abstract]:Aiming at the defects such as scratches and corrugation of large-size free-form surface aluminum mirror after single point diamond turning SPDTs, The effects of polishing medium and processing parameters on the ultra-precision polishing results of free-form aluminum alloy were studied. The polishing surface of AA6061 aluminum alloy was tested by Wyko NT9300 white light interferometer and VHX500 hyperfield depth microscope. The surface morphology before and after polishing and the results of polishing under different conditions were compared. In the experiment, diamond oil suspension with different mass fraction was used as polishing fluid, and wool wheel was used as polishing wheel. The experiments of plane polishing and free-form surface polishing have been carried out on a precision machining center. The experimental results show that, The surface roughness Ra of the workpiece has been reduced from 144.59 nm before polishing to 6.03 nm after polishing. The ideal mirror surface is obtained on AA6061 freeform surface by using the optimized process parameters.
【作者单位】： 天津大学精密仪器与光电子工程学院;
【基金】：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700) 国家自然科学基金资助项目(51275344) 高等学校学科创新引智计划资助项目(B07014)
【分类号】：TG580.692

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1615012