三电极微细电解加工脉冲电源

发布时间：2018-04-16 14:40

  本文选题：微细电解加工 + 脉冲电源　； 参考：《清华大学学报(自然科学版)》2015年03期

【摘要】：脉冲电源是实现微细电解加工的技术关键之一。该文基于钝化膜增厚过程分析,探讨抑气促溶机理,并设计一种具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源,利用辅助电极导入电解池的加工脉间完全去极化电流,完成界面加酸过程。微细阵列孔及微细槽的电解加工实验显示:采用三电极脉冲电源在中性NaNO3电解液中的微细电解加工,蚀除速率从两电极脉冲电源的3.21×10-4 mm3/s提高至6.62×10-4 mm3/s,有效地提高了加工效率;该电源在维持钝性电解液中加工定域性好和中性电解液的环保优势的同时,又具有偏酸性电解液中加工后表面质量高的优点,加工表面粗糙度Ra从0.52μm降至0.28μm。初步实验验证了具有脉间输出的三电极微细电解加工脉冲电源的可行性。
[Abstract]:Pulse power supply is one of the key technologies for micro-ECM.Based on the analysis of thickening process of passivation film, the mechanism of gas inhibition and solubilization is discussed, and a three-electrode micro-electrolysis pulse power supply with interpulse output is designed.Finish the process of adding acid at the interface.The experiments of ECM for micro-array holes and microgrooves show that the etching rate of three-electrode pulse power supply in neutral NaNO3 electrolyte is increased from 3.21 脳 10 ~ (-4) mm3/s to 6.62 脳 10 ~ (-4) mm ~ (3) / s, which improves the machining efficiency effectively.At the same time, the power supply has the advantage of high surface quality after processing in the partial acidic electrolyte, and the roughness Ra of the machined surface is reduced from 0.52 渭 m to 0.28 渭 m.The feasibility of three-electrode micro ECM pulse power supply with interpulse output is verified by the preliminary experiment.
【作者单位】： 清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室;北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金面上项目(51275255) 江苏省数字化电化学加工重点建设实验室(常州工学院)开放基金资助项目(KFJJ2004005)
【分类号】：TG662

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1759383