水合抛光加工的运动学特性

发布时间：2018-04-20 06:28

  本文选题：旋摆驱动 + 水合抛光　； 参考：《机械工程学报》2015年11期

【摘要】：建立了旋摆驱动方式下水合平面抛光过程中工件的运动学模型,揭示了抛光盘开孔方式对蓝宝石衬底的水合抛光均匀性影响规律。旋摆驱动条件下,杉木抛光盘的开孔方式对蓝宝石衬底水合抛光加工全局均匀性和局部均匀性具有重要的作用,局部均匀性的阶梯状分布为直线、圆环和螺旋线开孔方式的共性特征。与直线、圆环开孔方式相比,在一定的参数取值条件下,螺旋线开孔方式可更好地实现水合抛光加工的全局均匀性和局部均匀性要求。
[Abstract]:The kinematics model of the workpiece in the process of swing-driven underwater plane polishing is established, and the influence of the opening mode of the disc on the homogeneity of the hydration polishing of sapphire substrates is revealed. Under the condition of rotary pendulum drive, the opening mode of Chinese fir polishing disc plays an important role in the global uniformity and local uniformity of sapphire substrate hydration polishing, and the local homogeneity is distributed in a straight line. The common features of the opening way of the ring and helix. Compared with the straight line and ring opening mode, the helical hole opening mode can better meet the requirements of global uniformity and local uniformity in hydration polishing under certain parameter values.
【作者单位】： 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室;
【基金】：国家科技支撑计划(2011BAK15B07) 国家自然科学基金(51375457) 浙江省科技计划(2013C31024) 浙江省自然科学基金杰出青年基金(R1111149)资助项目
【分类号】：TG580.692

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1776652