微细超声工作台的设计与微振幅测量

发布时间：2018-04-22 18:19

  本文选题：微细超声工作台 + 微细超声加工　； 参考：《振动与冲击》2015年07期

【摘要】：微细超声工作台是微细超声加工机床与微细超声振动辅助加工机床的关键零部件,其振幅值直接影响加工精度与加工效率。传统的振幅测量方法很难准确的测出微细超声工作台的微振幅。基于精密微三维运动平台的高分辨率,提出了一种恒力控制的微振幅测量方法,成功的测量出能精确到0.1μm的微振幅。首先对微细超声工作台中的微细超声振动系统进行了理论设计,然后采用基于恒力控制的超声振幅测量方法,对不同功率作用下的微细超声振动系统的振幅值进行了测量。
[Abstract]:The micro ultrasonic worktable is the key component of the micro ultrasonic machining machine and the micro ultrasonic vibration auxiliary machine tool. Its amplitude value directly affects the processing precision and efficiency. The traditional amplitude measurement method is difficult to accurately measure the micro amplitude of the micro ultrasonic worktable. Based on the high resolution of the precision micro 3D motion platform, this paper puts forward the high resolution of the precision micro 3D motion platform. A micro amplitude measurement method controlled by constant force is used to measure the micro amplitude that can be accurate to 0.1 M. Firstly, the micro ultrasonic vibration system in the micro ultrasonic workbench is designed. Then the ultrasonic amplitude measurement method based on constant force control is used to measure the amplitude of the micro ultrasonic vibration system under the action of different power. The measurement was done.

【作者单位】： 广东工业大学机电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金重点资助项目(U1134003);国家自然科学基金(51175091)
【分类号】：TG502

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1788370