阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析（英文）

发布时间：2018-04-26 11:37

  本文选题：TiCN涂层 + SEM-EDS面扫描　； 参考：《稀有金属材料与工程》2015年12期

【摘要】：采用阴极弧离子镀在Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiCN涂层,通过扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了涂层表面化学元素的面分布和界面化学元素的线分布。讨论了涂层界面结合机理,用划痕法对结合强度进行了表征分析。结果表明,涂层主要是由TiN、TiC和C原子组成,其中TiN和TiC提高了涂层硬度,C原子改善了涂层摩擦润滑性能;涂层中N原子分数超过C原子分数,界面结合处发生了相互扩散,涂层中C原子扩散量最大,基体中Si原子扩散量最大,涂层与基体形成了冶金结合,利用划痕法测定TiCN涂层结合强度为79.6 N。
[Abstract]:Cr12MoV coating was prepared by cathodic arc ion plating on the surface of Cr12MoV cold working die steel. The surface distribution of chemical elements and the linear distribution of interfacial chemical elements on the surface of the coating were analyzed by scanning electron microscopy (SEM) and energy spectrometer (EDS). The bonding mechanism of the coating interface was discussed and the bonding strength was characterized by scratch method. The results show that the coating is mainly composed of tic and C atoms, in which TiN and TiC increase the hardness of the coating and improve the friction lubricity of the coating, and the N atom fraction in the coating exceeds the C atom fraction, and the interdiffusion occurs at the interface bond. The diffusion of C atom in the coating is the largest, and the diffusion amount of Si atom in the substrate is the largest. The metallurgical bonding between the coating and the substrate is formed. The bonding strength of the TiCN coating is 79.6Nmeasured by scratch method.
【作者单位】： 常州大学;江苏省材料表面科学与技术重点实验室;
【基金】：The Science and Technology Support Project of Jiangsu Province,China(BE2014818)
【分类号】：TG174.4

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本文编号：1805857