微粒检测用微孔的聚焦离子束加工及其验证平台搭建

发布时间：2018-05-24 17:36

  本文选题：聚焦离子束 + 库尔特原理　； 参考：《纳米技术与精密工程》2015年06期

【摘要】：库尔特原理是微粒检测的一种标准技术,而微纳尺度微孔的制造是库尔特原理的关键部分.本文采用聚焦离子束(FIB)技术进行固态微孔的加工,并自行设计搭建基于FPGA的测试平台对加工出的微孔进行检测.测试结果表明:采用该技术加工的固态微孔能够产生基准电流信号,但是基准信号会随时间变化,且随着输入电压的变化呈非线性变化.
[Abstract]:The Kurt principle is a standard technique for particle detection, and the fabrication of micro-nano-scale micropores is a key part of the principle. In this paper, focused ion beam technique is used to process solid micropores, and a testing platform based on FPGA is designed to detect the micropores. The test results show that the solid state microholes fabricated by this technique can produce reference current signal, but the reference signal will change with time and nonlinear with the change of input voltage.
【作者单位】： 精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学);
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51275559)
【分类号】：TG669;TB302

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1929949