基于SEM纳米切削装置的设计与实验

发布时间：2018-05-31 08:35

  本文选题：扫描电子显微镜 + 纳米切削　； 参考：《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》2015年01期

【摘要】：针对目前纳米切削机理研究方法中切削过程无法在线高分辨力观测等瓶颈问题,设计并搭建了一套集成于扫描电子显微镜高真空条件下的纳米切削实验装置,开展了该实验装置的运动精度分析、典型单晶材料纳米切削在线观测等研究.该装置在切削及切深方向均能实现7,μm的位移输出,闭环分辨力为0.6,nm.通过白光干涉仪对纳米切削台阶加工结果的测量,分析装置运动精度,实现了切深分别为59.3,nm、115.1,nm和161.2,nm的台阶结构加工.利用直线刃金刚石刀具对单晶铜和单晶硅材料进行了纳米切削实验,实验结果表明所研制的纳米切削装置能够实现纳米尺度材料去除的在线高分辨力观测.
[Abstract]:This paper designs and sets up a set of nano - cutting experimental devices integrated in the high vacuum condition of scanning electron microscope for the current nano - cutting mechanism research method , and designs and sets up a set of nano - cutting experimental device integrated in the high vacuum condition of scanning electron microscope . The measurement of the machining result of nano - cutting step is carried out in the direction of cutting and depth . The results show that the cutting depth is 59.3 , nm , 115.1 , nm and 161.2 , nm . The experimental results show that the nano - cutting device can realize the on - line high - resolution observation of nano - scale material removal .
【作者单位】： 天津大学机械工程学院;天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室;
【基金】：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706703,2011CB706700) 国家自然科学基金资助项目(51275559)
【分类号】：TG50

【参考文献】

相关期刊论文 前2条

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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5 班镭，

本文编号：1958987