65Mn钢表面溅射TiAlN和CrAlN复合膜制备及性能研究

发布时间：2018-06-02 17:16

  本文选题：磁控溅射 + TiAlN　； 参考：《热加工工艺》2015年24期

【摘要】：采用磁控溅射在65Mn钢基体表面分R%制备了不同Al含量(≤40at%)的TiAlN和CrAlN复合膜,研究了Al含量对TiAlN和CrAlN复合膜性能的影响,并对溅射前后摩擦磨损性能进行了对比。采用X射线衍射、扫描电镜、能谱仪(EDS)、纳米硬度仪和高温摩擦磨损试验机,系统分析了Al含量对TiAlN和CrAlN复合膜微结构、力学性能和高温摩擦磨损性能的影响。结果表明,复合膜均为面心立方结构,且呈(111)择优取向生长。随Al含量增加,晶格常数逐渐减小,而硬度逐渐增大。室温下材料的摩擦因数为0.6~0.7,300℃条件下摩擦因数为0.6~0.8,600℃条件下摩擦因数为0.4~0.9;表面溅射Ti_(0.6)Al_(0.4)N和Cr_(0.62)Al_(0.38)N后,其室温耐磨性分R%是65Mn钢的1.7倍和2.0倍,300℃下耐磨性分R%为65Mn钢的2.7倍和3.0倍,600℃下耐磨性分R%为65Mn钢的3.5倍和4.0倍。
[Abstract]:TiAlN and CrAlN composite films with different Al content (鈮，

本文编号：1969557