循环氩离子轰击对磁控溅射铝膜结构和性能的影响
本文选题：钕铁硼 + 氩离子轰击 ； 参考：《中国表面工程》2015年01期
【摘要】：为了提高烧结钕铁硼永磁材料的耐腐蚀性能,采用磁控溅射技术在钕铁硼表面制备了厚度约为14.0μm的铝膜,使用循环氩离子轰击铝膜的方法制备了3个周期的多层铝膜。利用扫描电子显微镜(SEM)观察铝膜的表面和截面形貌,X射线衍射仪(XRD)表征膜层的晶体结构,采用中性盐雾试验测试膜层的耐盐雾腐蚀性能,研究循环氩离子轰击对铝膜层形貌、结构及耐中性盐雾腐蚀性能的影响。结果表明:与相同厚度的单层铝膜相比,3个周期的多层铝膜晶粒均匀细小,膜层的柱状晶结构被打断,内部形成了两个明显的界面;膜层沿(111)晶面择优生长;与厚度相同的单层Al膜相比,3个周期的多层Al膜的耐蚀性显著提高,其耐中性盐雾腐蚀时间可达到312h。循环氩离子轰击铝膜的方法可以改善铝镀层的质量和耐盐雾腐蚀性能。
[Abstract]:In order to improve the corrosion resistance of sintered NdFeB permanent magnetic materials, aluminum films with thickness of about 14.0 渭 m were prepared on NdFeB surface by magnetron sputtering technique. Three cycles of multilayer aluminum films were prepared by cyclic argon ion bombardment. Scanning electron microscope (SEM) was used to observe the surface and cross section morphology of aluminum film. The crystal structure of the film was characterized by X-ray diffractometer. The corrosion resistance of the film was tested by neutral salt spray test, and the morphology of aluminum film by cyclic argon ion bombardment was studied. Effect of structure and corrosion resistance of neutral salt spray. The results show that compared with the monolayer aluminum films of the same thickness, the multilayer aluminum films with three cycles have fine grains, the columnar crystal structure of the films is broken, and two obvious interfaces are formed inside the films. Compared with the single layer Al film with the same thickness, the corrosion resistance of the multilayer Al film with three cycles was significantly improved, and the corrosion resistance time of neutral salt spray was 312h. Cyclic argon ion bombardment of aluminum film can improve the quality of aluminum coating and corrosion resistance to salt spray.
【作者单位】： 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所;广东省现代表面工程技术重点实验室;
【基金】：国家科技支撑计划(2012BAE02B01)
【分类号】：TG174.4
【参考文献】
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【共引文献】
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，本文编号：2018164
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