大径高比超精密液体静压转台设计和分析.pdf文档全文免费阅读、在线看

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国内图书分类号: TH113.1 学校代码：10213 国际图书分类号: 621 密级：公开 工程硕士学位论文 大径高比超精密液体静压转台的设计与分析 硕士研究生 : 吴九达 导 师 : 孙雅洲 副教授 申 请 学 位 : 工程硕士 学 科 : 机械工程 所 在 单 位 : 机电工程学院 答 辩 日 期 : 2013 年7 月 授予学位单位 : 哈尔滨工业大学 Classified Index ：TH 113.1 U.D.C. ：621 Dissertation for the Master Degree in Engineering DESIGN AND ANALYSIS OF AN ULTRA-PRECISION ROTARY TABLE WITH A HIGH DIAMETER-LENGTH RATIO Candidate: Wu Jiuda Supervisor: Associate Prof. Sun Yazhou Academic Degree Applied for: Master of Engineering Speciality： Mechanical Engineering Affiliation: School of Mechatronics Engineering Date of Defence: July, 2013 Degree-Conferring-Institution: Harbin Institute of Technology 哈尔滨工业大学工程硕士学位论文 摘 要 超精密液体静压转台一直作为安装工件或者其他机床移动轴的重要部件广 泛地运用在多轴的超精密机床中，其运动精度对整个机床的加工精度影响很大。 影响液体静压转台性能的主要因素是转台中液体静压轴承工作状态下的刚度等 性能指标。同时，，超精密液体静压转台的结构形式对于转台制造、装配过程中的 可行性、难度及所达到的精度影响很大。因此，研究超精密液体静压转台的液体 静压轴承及转台结构的设计和相关性能的分析对超精密机床整体获得优良的工 作性能具有重要的意义。 本文是针对“高档数控机床与基础制造装备” 国家科技重大专项项目（项目编 号：2011ZX04004-061 ）中超精密液体静压转台的设计制造而开展的超精密液体 静压转台的设计与分析研究。课题涉及的超精密液体静压转台安装在水平面内的 直线运动部件上，要求的径高比较大。为此，在转台的液

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