蓝宝石单晶精密磨削表面形貌的分形行为研究
[Abstract]:How to evaluate the surface quality of optical crystal microstructures reasonably and effectively is an important problem in the field of precision manufacturing and application of optical elements. Based on fractal theory, the surface morphology of sapphire single crystal grinding is analyzed by using three-dimensional and two-dimensional box counting methods. The results show that the 3D fractal dimension Ds of the grinding surface is inversely proportional to the surface roughness. The higher the 3D fractal dimension is, the more fine the surface texture is, and the lower the 3D fractal dimension is, the more surface defects are. The two-dimensional fractal dimension DL distribution law of grinding surface cross-section profile can reflect the change of material removal mode. When the two-dimensional fractal dimension (DL) is distributed symmetrically along the grinding direction, the grinding surface is ductile domain removed, and if it is weakly symmetric or irregular, the grinding surface is brittleness domain removed. It is proved that fractal method can be used not only to characterize the surface morphology of sapphire grinding, but also to reveal the material removal mechanism of sapphire grinding surface.
【作者单位】: 北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室;秋田县立大学系统科学技术学部;
【基金】:国家自然科学基金(51205024) 国家重点基础研究发展计划(973计划,2015CB05990)资助项目
【分类号】:TG58
【参考文献】
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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本文编号:2331907
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