多弧离子镀负偏压对氮化钛薄膜的影响

发布时间：2019-04-11 16:20

【摘要】：目的确定适当的负偏压,提高多弧离子镀氮化钛薄膜的综合性能。方法采用不同的负偏压,在4Cr13不锈钢表面制备Ti N薄膜,探讨偏压对薄膜表面质量、结构、硬度、结合力和摩擦系数的影响。结果负偏压对薄膜表面质量的影响较大:负偏压为0 V时,Ti N薄膜表面凹凸不平,液滴较多;随着负偏压升高,薄膜表面变得光滑,液滴减少并变小,薄膜致密性也得到提高。在不同负偏压下,Ti N薄膜均呈现出在(111)晶面的择优取向,但随着负偏压的增大,这种择优取向逐渐减弱,当负偏压达到400 V时,薄膜在(220)晶面的峰值逐渐增强。随着负偏压从0增至400 V,薄膜的硬度、结合力和耐磨性均先提高,后降低。当负偏压为300 V时,薄膜的硬度和结合力达到最大,分别为2650HV和58 N;摩擦系数和磨损量最小,分别为0.48和0.1065 mm3。结论施加适当的负偏压可以提高薄膜的硬度、结合力、耐磨性等性能,当负偏压为300 V时,薄膜的各项性能达到最佳。
[Abstract]:......
【作者单位】：广西信息材料重点实验室;桂林电子科技大学材料学院;桂林广陆数字测控股份有限公司;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51264007);国家自然科学基金青年基金(51201043) 广西科学研究与技术开发科技攻关计划(12118020-2-2-1) 广西信息材料重点实验室(桂林电子科技大学)资助(1210908-10-Z) 桂林电子科技大学-桂林电科院研究生联合培养基地专项经费资助(20121225-10-Z;20121225-03-Z)~~
【分类号】：TG174.444

【参考文献】

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【共引文献】

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