超高精度离子束抛光工具设计与性能分析
发布时间：2019-04-19 02:07
【摘要】：为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验,将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性,一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。
[Abstract]:In order to solve the problem of high precision optical shape modification, the design and performance analysis of ion beam polishing tools are carried out. Through the research of ion beam polishing tool design method, focusing ion optical system structure design and ion beam characteristics analysis, computer simulation research and neutralizer integration design are carried out. Focusing ion optical system and neutralizer are developed and modified by focusing ion optical system of 15mm and 10mm. The fused quartz plane mirror of aperture 150mm is modified from RMS15.58nm to RMS0.79nm.. The results show that the design of focused ion optical system is effective, and the integrated ion beam polishing tool has the ability of sub-nano precision modification.
【作者单位】： 国防科技大学机电工程与自动化学院;超精密加工技术湖南省重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(91323302;61505259)
【分类号】：TG664
本文编号：2460504
[Abstract]:In order to solve the problem of high precision optical shape modification, the design and performance analysis of ion beam polishing tools are carried out. Through the research of ion beam polishing tool design method, focusing ion optical system structure design and ion beam characteristics analysis, computer simulation research and neutralizer integration design are carried out. Focusing ion optical system and neutralizer are developed and modified by focusing ion optical system of 15mm and 10mm. The fused quartz plane mirror of aperture 150mm is modified from RMS15.58nm to RMS0.79nm.. The results show that the design of focused ion optical system is effective, and the integrated ion beam polishing tool has the ability of sub-nano precision modification.
【作者单位】： 国防科技大学机电工程与自动化学院;超精密加工技术湖南省重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(91323302;61505259)
【分类号】：TG664
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，本文编号：2460504
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