氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状

发布时间：2019-05-15 08:37

【摘要】：随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础。
[Abstract]:With the development of thermal spraying technology, it is possible to improve the corrosion resistance of plasma etch chamber by preparing ceramic coating. In this paper, the process of yttrium oxide stabilized zirconia (YSZ) ceramic coating and its main preparation technology, atmospheric plasma spraying, are discussed. The effects of powder characteristics and different spraying process parameters on the properties of the coating are introduced. It lays a theoretical foundation for experimental research.
【作者单位】： 北京科技大学材料科学与工程学院;中科院微电子所;
【分类号】：TG174.4

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【共引文献】

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本文编号：2477365