GCr15钢领基体磁控溅射类金刚石薄膜的工艺

发布时间：2019-06-20 19:45

【摘要】：为了提高钢领表面耐磨性,采用中频非平衡磁控溅射法在经热处理的GCr15钢领上制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对不同磁控溅射功率、负偏压下制备的DLC薄膜进行了组织结构分析和摩擦磨损性能测试。结果表明:随着溅射功率、负偏压增加,DLC薄膜的Raman谱G峰位置和ID/IG值均整体上呈增加趋势,sp3键含量减少,石墨化程度增加;负偏压恒定为100 V时功率为8 k W以及功率恒定为5 k W时负偏压120 V,制备的DLC薄膜具有较小的摩擦系数和稳定的抗磨损性能。
[Abstract]:In order to improve the wear resistance of collar surface, diamond-like carbon (DLC) thin films were prepared on heat-treated GCr15 collar by medium frequency unbalanced magnetron splashing. The microstructure and friction and wear properties of DLC thin films prepared under different magnetron sputtering power and negative bias were analyzed. The results show that with the increase of sputtering power and negative bias voltage, the G peak position and ID/ G value of DLC thin films increase, the SP3 bond content decreases and the graphitization degree increases, and when the negative bias voltage is constant 100V, the negative bias voltage is 8kW and 5kW, the DLC thin films have small friction coefficient and stable wear resistance.
【作者单位】： 鹤壁汽车工程职业学院机械工程系;上海百若实验仪器有限公司技术部;
【分类号】：TG174.444

【共引文献】

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本文编号：2503484