高纯镁和高纯钼的质谱纯度分析及其结果不确定度评定
【学位授予单位】:钢铁研究总院
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:O657.63;TG146.22
【图文】:
223为质量转移和原位质量模式。在半导体行业,ICP-MS 分析高i、P 存在严重的质谱干扰,如30Si1H 对31P、30Si16O 对46Ti、30而采用氧气质量转移模式的 ICP-MS/MS 可将 P 和 Ti 以其氧化1P16O+的形式准确测定[38]。放电质谱(GD-MS)法S 可直接分析固体样品,以辉光放电离子发生器作为离子源,金材料、导体、半导体和非导体材料中元素的定性、定量分析深度分析等。该方法具有分辨率高、检测限很低、检测范围大解即可固体直接测量等优点,广泛的应用在无机材料的杂质分光放电电,即气体在低压下放电,图 1-1 是一个辉光放电装置。阴极,加上千伏电压,氩气被电离产生 Ar+,在电场的作用下,加的样品表面被 Ar+碰撞后,溅射出原子、二次离子和二次电子等
光放电的阴极溅射和电离溅射是 Ar+在电场作用下加速撞击样品表面,处于晶格中的原子,脱离样品表面。溅射率表示为溅射的程度,是单位时间溅射质量或深度[43]。放电主要有两种电离方式:电子轰击电离和彭宁电离。电子轰击惰性气体大量电离产生的电子碰撞溅射原子而发生的激发、电离表示为 A + e → A++ e2+,其中 A 代表样品原子。彭宁电离是与被溅射出原子作用发生能量传递使样品原子电离,同时释放出化方式可表示为Ar + A → Ar + A++ e+,其中 A 代表样品原子的原理如图 2 所示,其中过程(3)是电子轰击电离,过程(1)离由于原子化与离子化是分离的,基体效应弱,无标准物质/标出较准确的分析结果[44]。
检测液体样品,R.Kenneth Marcus 等[73]人设计了一种离子的毛细管作为辉光放电源的阴极,在大气压环境下毛细样品朝样品锥移动并发生离子化,叫作液体样品-大气压ampling-atmospheric pressure glow discharge,LS-APGD)。,LS-APGD 离子源可在低电压(小于 5 瓦)、低液体流速消耗量少,方便更换液体样品类型,交叉污染少。
【参考文献】
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本文编号:2743968
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