宽离子束抛光方法在材料显微分析制样中的应用

发布时间：2021-05-25 21:24

　　抛光是揭示样品内部信息的重要方法,尤其是在对样品平整度、残余应力、杂质含量等要求较高的显微分析测试中,高质量的抛光更为重要。基于离子溅射原理的宽离子束（BIB）抛光方法是近年来兴起的先进抛光方法,相比传统抛光方法（如机械抛光、电化学抛光和化学抛光）具有诸多优势。本文通过典型实例展示了BIB抛光技术在多种特殊材料抛光中的独特优势。以LaFeSi/Al复合材料为例,阐述了BIB抛光在各相硬度差异大、应力敏感度高的多相复合材料样品制备中的优势;以常规球形颗粒NiCoMn的断面样品和片状云母粉末断面样品制备为例,对比说明了前处理工艺对BIB抛光的重要性;以多孔/致密结构的双层电解质为例展示了BIB抛光在高孔隙率材料断面样品制备中的优势;以SmCo合金为例分析了金属涂层材料在BIB抛光中常见的溅射反沉积现象,并提供避免实验假象的解决方案。 

【文章来源】：电子显微学报. 2020,39(04)北大核心CSCD

【文章页数】：9 页

【文章目录】：
1 实验方法
2 结果与讨论
    2.1 复合材料的抛光
    2.2 粉末材料的抛光
    2.3 有取向的粉末材料的抛光
    2.4 多孔材料的抛光
    2.5 涂层材料的抛光
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
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[3]氩离子抛光-环境扫描电镜在页岩纳米孔隙研究中的应用——以辽中凹陷JX地区沙一段为例[J]. 程涌,刘聪,吴伟,文义明,聂琪,卢萍.  电子显微学报. 2018(01)
[4]东营凹陷古近系沙四段页岩微观孔隙结构特征[J]. 王娟,吴伟,黄雪峰.  电子显微学报. 2017(04)
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本文编号：3206030