溅射参数对合金表面硬质膜层性能影响的研究现状

发布时间：2021-08-10 11:30

　　为了增强合金表面的耐磨性和耐蚀性,提高合金的使用寿命,磁控溅射硬质膜层近年来受到广泛的研究。介绍了磁控溅射技术的原理及特点,综述了磁控溅射技术制备硬质膜层的研究进展。结合近年来的实验研究,综述了溅射参数对硬质膜层性能的影响研究。对磁控溅射技术制备硬质膜层的发展进行了展望。 

【文章来源】：热加工工艺. 2020,49(20)北大核心

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 磁控溅射技术的基本原理和特点
2 磁控溅射技术制备硬质膜层的研究
    2.1 在TA19合金表面制备Ti Al N复合膜层的研究现状
    2.2 在TC4合金表面制备Ti Al N复合膜层的研究现状
    2.3 在AZ91D镁合金表面制备Ti膜层的研究现状
3 溅射参数对硬质膜层性能影响的研究进展
    3.1 溅射气压对硬质膜层的影响
    3.2 溅射功率对硬质膜层的影响
    3.3 溅射时间对硬质膜层的影响
    3.4 基底偏压对硬质膜层的影响
    3.5 基底温度对硬质膜层的影响
4 结语与展望


【参考文献】：
期刊论文
[1]汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层组织及耐磨性能分析[J]. 李红英.  材料保护. 2019(11)
[2]工业设计用AZ91D合金的表面改性层性能研究[J]. 郑好,许开强,秦莹.  热加工工艺. 2019(20)
[3]车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析[J]. 杨晨,李伟.  热加工工艺. 2019(18)
[4]Mg-Gd-Y系镁合金的腐蚀与防护研究进展[J]. 张帅,李全安,朱宏喜,陈晓亚.  材料保护. 2019(08)
[5]TA19合金表面TiAlN硬质涂层的耐磨性能研究[J]. 柳荣,黄朝军,梁文萍,缪强,易锦伟,丁铮,李阳.  热加工工艺. 2019(14)
[6]石墨靶溅射时间对Ta-C涂层性能的影响[J]. 黄彪,张而耕,周琼,陈永康.  陶瓷学报. 2019(03)
[7]不同负偏压下磁控溅射纳米TiAlN薄膜的微观结构与耐蚀性能[J]. 曹慧,郭玉利,韩晓雷.  材料保护. 2018(12)
[8]基体温度对磁控溅射CrN涂层微观结构和性能的影响[J]. 齐东丽,宋健宇,沈龙海.  热加工工艺. 2018(18)
[9]高功率脉冲磁控溅射技术的离子(粒子)特性及其对薄膜组织结构的影响[J]. 吴保华,冷永祥,黄楠,杨文茂,李雪源.  表面技术. 2018(05)
[10]磁控溅射Ti膜对AZ91镁合金耐磨耐蚀性能的影响[J]. 李丽,杨妙,张俊.  表面技术. 2018(03)



本文编号：3333980