化学机械微细磨削化学改性液理化性能研究

发布时间：2021-11-22 05:33

　　单晶硅是光伏产业、航空和航天等高性能零件应用领域常用的硬脆材料,具有化学稳定性好、硬度大、脆性高、耐磨性好、化学机械性能优良等特点。在对单晶硅进行三维微结构微细磨削加工过程中,极易产生棱角边刃裂纹、崩边、缺角等加工损伤缺陷,进而影响其使役性能。为实现硬脆材料微小零件三维结构的少缺陷,甚至无缺陷的高质量及高效率加工,本文将化学机械加工技术中的化学改性作用引入到微细磨削加工中,侧重研究化学改性液对单晶硅材料实现化学改性的反应条件并分析其理化性能;优化化学改性液溶液反应条件参数,探讨化学机械微细磨削过程中化学改性液对单晶硅材料的改性机理。本文具体研究内容包括:（1）单晶硅化学改性机理研究。以（100）晶面单晶硅为研究对象,在材料性能分析基础上,确定化学改性液成分,分析能量输入引发单晶硅化学改性的原理,设计单晶硅化学改性液实验以及介绍理化性能分析测试方法。（2）单晶硅化学改性液化学性能研究。设计基于化学改性液中碱浓度、pH值、反应温度和溶液成分变化的单晶硅化学改性单因素实验,分析各因素变化对单晶硅材料化学改性程度的影响。基于电感耦合等离子体质谱检测和红外光谱检测,分别分析了化学改性后溶液中的S... 

【文章来源】：湖南大学湖南省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：71 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

化学机械微细磨削加工示意图

单晶硅的晶体结构

（a）化学改性前 （b）化学改性后图 2.3 化学改性前后单晶硅材料进行化学改性实验首先即是配制化学改性液，如图 2.2 所示，为了使整制过程流畅、有序，首先集中准备好配制溶液所需的化学试剂、称量工

【参考文献】：
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本文编号：3511040