AlCrSiN基自润滑刀具涂层的结构和性能研究

发布时间：2022-07-11 10:46

　　随着现代高性能材料制备技术的飞速发展,各种难加工材料零部件的使用数量日益增多,尤其是高速切削、高效加工、干切削等先进加工工艺的出现,对刀具切削性能不断提出更高要求,在刀具表面涂覆硬质耐磨涂层是提升其使用寿命和加工效率的一种有效方法。目前,刀具行业中广泛应用的AlCrSiN涂层具有良好的力学性能,如硬度高、弹性模量大、韧性好、膜基结合力强,但该涂层摩擦系数大,加工过程产生大量切削热,导致刀具磨损严重,加工质量降低。若掺杂第六副族Mo元素于AlCrSiN涂层,在摩擦过程中Mo元素常被氧化成低剪切模量的层状MoO₃,层间易发生剪切滑移可赋予涂层良好的润滑功能,有望改善涂层的摩擦磨损性能;同时,若Mo原子固溶到（Al,Cr）N晶格中,还可引起晶格畸变来实现强化,进一步提升涂层性能。鉴于以上,本文采用复合磁控溅射技术研制AlCrSiN/Mo自润滑涂层,系统研究了CrMo靶溅射功率、沉积压强等工艺参数对涂层的组织结构、力学性能及摩擦学性能的影响;再经真空热处理进一步强化涂层,并评价其耐热能力。依据上述研究,在硬质合金立铣刀表面分别制备沉积态和退火态AlCrSiN/Mo涂层,并... 

【文章页数】：68 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

磁控溅射电源功率脉冲示意图：(a)高功率脉冲磁控溅射；(b)脉冲直流磁控溅射

TiN/NBN超晶格薄膜的透射断面图[22]

纳米复合涂层结构示意图

【参考文献】：
期刊论文
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硕士论文
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本文编号：3658022