基于正交试验和ε-SVR的激光铣削微锥体误差预测

发布时间：2024-01-20 15:15

　　本文采用纳秒脉冲激光铣削方法对尺寸小于1 000μm,特征尺寸小于100μm的微锥体进行加工,激光铣削过程中脉冲激光与材料相互作用复杂,因此加工结果难以预测。本文首次以微圆锥的形状误差为预测目标,包括锥角误差(AT_α)、直径误差(T_DS)和对称性误差(E_S),首先采用正交试验对显著影响加工结果的参数进行选择,然后利用采用不敏感损失函数的支持向量回归机(ε-SVR)建立激光微烧蚀加工预测模型,并且根据参数对预测结果的影响对参数进行择优选取,实验结果表明,较优参数的ε-SVR模型预测得到AT_α=3.8^°,T_DS=5.35μm,E_S=1.15μm。因此,ε-SVR适用于激光铣削加工微锥的误差预测,并对激光铣削加工其他微三维结构提供了参考。

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本文编号：3881078