锆合金包壳管内壁SiC涂层的PECVD制备与性能

发布时间：2024-06-10 19:23

　　提出一种新型便捷的等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD),在细长的锆合金包壳管(外径9.5 mm,壁厚0.57 mm,长度200 mm)内壁制备厚度分别3μm和5μm的SiC涂层,用扫描电镜观察涂层的微观结构,并测试其抗热冲击性能和抗高温水氧腐蚀性能。结果表明,该制备方法可快速、高效地在包壳管内壁沉积SiC涂层,涂层致密且光滑平整,无论在包壳管的轴向或径向方向,涂层厚度均匀一致。涂层与锆合金基体结合良好,具有良好的抗热冲击性能,1 200℃高温淬火后不发生剥落。SiC涂层可隔绝锆合金与高温水蒸气接触,有效保护锆合金包壳管,防止其被氧化。

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【文章目录】：
1 实验
    1.1 管道内壁涂层的PECVD装置
    1.2 性能测试
2 结果与讨论
    2.1 涂层结构及均匀性
    2.2 抗热冲击性能
    2.3 抗高温水蒸汽腐蚀性能
3 结论



本文编号：3991795