五自由度测量中直线度现场标定方法研究

发布时间：2024-10-03 06:32

　　 直线度现场标定是保证其在线测量精度的重要方法。在收发一体式激光五自由度测量结构的基础上,针对直线度现场标定中标定平台引入的阿贝误差和角锥棱镜成像误差,建立了直线度现场标定模型。根据该标定模型并结合五自由度测量装置的角度测量结果,提出一种直线度现场标定误差补偿方法。实验表明,该标定方法使标定系数误差减小到0.2%以内,有效提高了直线度现场标定精度。

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【部分图文】：

图7QPD1的X向输出标定系统

图6RR1的成像误差4.1.1高精度标定平台标定实验

图1五自由度测量结构

其中：ΔxQ1和ΔzQ1分别定义为QPD1的X向输出和Z向输出，kx和kz为待标定的系数。当测量平台移动时，X轴方向的直线度误差δx和Z轴方向的直线度误差δz可以表示为

图2QPD1的X向输出标定原理图

直线度标定过程中需要对QPD1的X向输出和Z向输出分别标定。QPD1的X向输出标定原理图如图2所示，RR1与激光干涉仪角锥棱镜RR3放置在标定平台上，同时对标定平台X向位移进行测量，从而实现激光干涉仪对QPD1的X向输出的标定。当标定平台在X向移动时，激光干涉仪测量值Δdx可以表....

图3QPD1的Z向输出标定原理图

图2QPD1的X向输出标定原理图QPD1的Z向输出标定原理图如图3所示，当标定平台在Z向移动时，激光干涉仪测量值为Δdz,QPD1的Z向输出标定模型为

本文编号：4006867