Ti-B-N纳米复合涂层的设计、制备及性能

发布时间：2024-11-18 22:49

　　 利用脉冲直流磁控溅射技术研制Ti-B-N涂层,通过降低反应气体N₂流量,减少涂层中a-BN （a代表非晶）软质相的含量,增大TiB₂靶溅射功率,提高硬质相TiB₂的含量,形成nc-（Ti₂N, TiB₂）/a-BN （nc代表纳米晶）纳米复合结构,实现涂层增韧和强化。系统研究了TiB₂靶溅射功率对Ti-B-N涂层成分、微观结构和性能的影响,利用EDS、HRTEM、SEM、XRD、纳米压痕仪和划痕测试仪对涂层进行表征和测试,利用球-盘式摩擦磨损试验机测试涂层摩擦学性能。结果表明,随着TiB₂靶溅射功率增加,Ti-B-N涂层结构逐渐由nc-Ti₂N/a-BN演变成hcp-TiB₂/a-BN;Ti-B-N涂层的纳米硬度也逐渐增加,当TiB₂靶溅射功率为2.4 kW时,涂层硬度最高,约为33.8 GPa;此时Ti-B-N涂层的摩擦系数和磨损率也最低,分别为0.55和2.1×10...

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【文章目录】：
1 实验方法
    1.1 涂层制备
    1.2 成分分析和结构表征
    1.3 性能测试
2 实验结果与分析
    2.1 涂层成分与相结构
    2.2 微观结构与沉积速率
    2.3 涂层的力学性能
    2.4 涂层的摩擦学性能
3 结论



本文编号：4012229