基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计

发布时间：2018-04-29 07:44

  本文选题：光学测厚 + 高精度　； 参考：《光学技术》2014年06期

【摘要】：对薄膜测厚系统进行了详尽剖析,从整体上论述了膜厚测量系统,研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路,对薄膜测厚仪的软件流程进行了离散设计。以AVR单片机为核心处理器进行了数据采集和处理,设计并生产出了在线式光学薄膜厚度测量与监控系统。通过与实际膜厚进行对比实验,验证了薄膜测厚系统具有高精度、高稳定性和高可靠性,可应用于实际工业生产。
[Abstract]:The thin film thickness measurement system is analyzed in detail. The film thickness measurement system is discussed. The key hardware circuit of the film thickness measurement system is studied. The software flow chart of the film thickness gauge is discrete designed. The data acquisition and processing based on AVR single chip computer are carried out, and the on-line optical thin film thickness measurement and monitoring system is designed and produced. It is proved that the film thickness measurement system has high accuracy, high stability and high reliability, and can be used in industrial production by comparing with the actual film thickness.
【作者单位】： 宁夏师范学院物理与信息技术学院;
【分类号】：TP368.1;TP274

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1819041