NAND型Flash存储器总剂量效应实验研究
本文选题:NAND型Flash存储器 + 总剂量效应 ; 参考:《原子能科学技术》2014年08期
【摘要】:针对镁光公司的4种NAND型Flash存储器,开展了不同辐照偏置下的总剂量效应实验及不同工艺尺寸器件的静态加电辐照实验。实验结果表明,器件在静态加电和动态辐照偏置下的总剂量效应相似,而与不加电辐照偏置下的总剂量效应不同。不同工艺尺寸器件的敏感参数有相同的变化趋势,由于受其他因素的综合影响,各敏感参数并不随工艺尺寸单调变化。
[Abstract]:The experiments of total dose effect under different irradiation bias and static irradiation of devices with different process sizes have been carried out for four NAND flash memories of Magnesia. The experimental results show that the total dose effect of the device under static and dynamic irradiation bias is similar, but is different from the total dose effect under uncharged irradiation bias. The sensitive parameters of the devices with different process sizes have the same changing trend. Due to the comprehensive influence of other factors, the sensitive parameters do not change monotonously with the process size.
【作者单位】: 西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室;
【分类号】:TP333
【参考文献】
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【共引文献】
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,本文编号:2025568
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