基于MCS-51单片机的甩干机系统设计与实现

发布时间：2019-07-26 09:50

【摘要】：本设计介绍了基于MCS-51系列8051单片机的甩干机控制系统的设计。在半导体工艺中把做好的芯片从大源片上分离开来,需要一步叫划片的工艺。划片工艺是使用金刚砂轮把硅片切开,在切割的过程中能产生大量的硅片和金属等的碎渣，这些碎渣会对芯片造成沾污，这就需要在划片工艺中形成的矿渣进行清除，方法是对硅片进行清洗。传统的清洗方法是用高压水枪喷水清洗，或者用棉绒等蘸水擦洗，然后用氮气吹干。这些方法容易造成对做好的芯片表面的划伤或者二次污染，清洗效果不佳。 所以需要有一种专门清洗这种硅片的设备，既能清洗干净，又不会产生二次污染。国外对此工艺的处理，先进的大公司使用的是清洗机，但一般使用PLC控制，功能强大，但成本很高，不利于大范围的推广使用。结合此经验，用两个MSC-51系列8051单片机代替PLC,既能完成清洗工艺，又降低了成本。这种清洗机，首先利用喷出的氮气和高压水来清洗硅片，然后停止喷水，，利用高速旋转和喷出的氮气，将硅片吹干，使硅片的清洗和干燥比较均匀。主要完成的功能包括按键控制、LCD显示、抽真空吸片、低速旋转冲洗、高速旋转甩干、步进电机摆动、排水以及由气缸控制的开关门动作。单片机系统输出的信号经三极管放大后，由驱动芯片进行驱动控制12V继电器，再控制电磁阀和直流电机驱动器，从而控制各功能部分动作。同时单片机输出一定频率的脉冲信号和高低电平信号到步进电机驱动器，控制步进电机的摆动速率和方向。单片机扫描键盘状态，根据状态进行特定的动作。各个检测传感器把检测到的信号放大后输入到单片机中进行运算处理。显示单片机并行输出信号到LCD进行显示当前系统的各种状态。
【图文】：

ULN2003 是高耐压、大电流达林顿阵列，由七个硅 NPN 达林顿管组成。特点：1.每一对达林顿都串联一个 2.7k 的基极电阻，在 5V 的工作电压下它TL 和 CMOS 电路直接相连，可以直接处理原先需要标准逻辑缓冲器来处理。2.工作电压高，工作电流大，灌电流可达 500mA，并且能够在关态时承受电压，输出还可以在高负载高电流并行运行。

步进电机驱动器PLUS-为脉冲信号（负信号，低电平有效）
【学位授予单位】：中国海洋大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2012
【分类号】：TP273;TP368.1

【参考文献】

相关期刊论文 前1条

1 何立民;;我国单片机技术的应用与发展[J];电子设计技术;2000年11期

本文编号：2519493