金属纳米晶非挥发存储器存储特性的模拟

发布时间：2020-05-18 19:03

【摘要】： 当集成电路生产工艺节点进入50nm以下,传统浮栅结构的编程擦除速度和数据保持能力已经无法同时满足非挥发存储应用的要求。金属纳米晶存储器具有更高的速度和更好的可靠性,它将成为一种下一代浮栅结构非易失存储器件的有力替代者。因此有必要全面研究影响金属纳米晶非挥发存储器存储特性的因素。本文的研究为金属纳米晶存储器代替传统浮栅结构完善了理论依据。 本文从金属浮栅结构电容模型计算、TCAD软件仿真和数据保持能力建模三方面对金属纳米晶存储器存储特性进行了研究。首先,从器件的电容模型出发,分析了影响器件编程擦除速度的因素。其次,利用TCAD软件SILVACO/ATLAS仿真金属纳米晶存储器件编程擦除特性。最后,在综合考虑量子限制和库伦阻塞两种效应的基础上,建立并验证了金属纳米晶数据保持能力的数学分析模型。 研究结果表明:(1)增大浮栅功函数对不影响器件的编程速度,会减小器件的擦除速度,提高器件的数据保持能力。(2)增大控制栅功函数会减小器件的编程速度,会提高器件的擦除速度,不影响器件的数据保持能力。(3)金属纳米晶存储器中金属纳米晶的数量越多、直径越大,器件的编程速度越快。(4)库仑阻塞对金属纳米晶存储器的数据保持能力的影响不可忽略。(5)当金属纳米晶器件具有4nm厚度隧穿氧化层和大功函数金属材料(如Pt)纳米晶,保守估计器件的数据保持能力可达到30年。
【图文】：

第一章 绪论绍了非挥发存储器件的市场概况，，然后总结了非挥发性存储器引出金属纳米晶存储器件，最后简要介绍全文内容。储器市场储器件是一种重要的存储器件，它的特点是在电源被切断的情中的信息，商业产品要求能将数据保留十年。近年来，随着消储设备、笔记本电脑和 PDA 等）的广泛使用，非挥发性存储速存储器(Flash Memory)为主的非挥发存储器件市场份额十年7 年全球市场总额达到 200 亿美元。

图 1.2 FLASH 存储器应用[1.1]Fig. 1.2 FLASH memory application[1.1]件结构发展历史储器件(Non-Volatile Semiconductor Memory, NVSM)EPROM 到 Flash Memory 的各个阶段。图 1.3 展现了 中浮栅结构是所有非挥发存储器件的基础，半导体纳可靠性，金属纳米晶存储器则试图进一步提高半导体米晶存储器件由Zengtao Liu于2002年首次提出，预计纳米晶存储器越来越多的受到来自学术界的关注。本FAMOS FLOTOX ETOX SONOS TANOSby Intel by Intel by Intel by Saifun by Samsung
【学位授予单位】：上海交通大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2008
【分类号】：TP333

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 安励勉;;沈阳民航通信传输网络建设的几点思考[J];中国-东盟博览;2011年06期

2 Todd Borkowski;;MEMS麦克风可增强音频系统的质量和可靠性[J];电子产品世界;2011年11期

3 张军涛;;网络电子交易系统需求分析与实现[J];苏州市职业大学学报;2011年03期

4 王勇;;信息的多重不确定性及其在信息安全中的应用研究[J];信息网络安全;2011年10期

5 王喜文;程郁离;罗雅丽;;诊断试验可靠性评价SAS程序实现[J];中国卫生统计;2011年05期

6 何玉娟;罗宏伟;恩云飞;;偏压条件对光耦合器总剂量辐照效应的影响[J];电子器件;2011年05期

7 杨琼;崔西宁;周波;;事务型文件系统存储管理机制的研究与实现[J];航空计算技术;2011年05期

8 郭御风;郭诵忻;龚锐;;一种面向多核处理器I/O系统软错误容错方法[J];计算机工程与科学;2011年10期

9 何沛霖;黄国勤;于今;;智能液压容错控制技术在钻机的应用[J];兵工自动化;2011年11期

10 高国威;任宝胜;;工作台控制器的测试系统设计与应用[J];吉林化工学院学报;2011年09期

相关会议论文 前10条

1 马浩云;;力求提高单缸柴油机产品活力的途径[A];2009海峡两岸机械科技论坛论文集[C];2009年

2 周真;马德仲;于晓洋;秦勇;张丽娜;;基于故障数据统计的电磁流量计失效模式分析[A];2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集[C];2009年

3 包亦望;刘小根;邱岩;王秀芳;;真空玻璃结构功能一体化[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年

4 田玲;申永革;;尿液化验制片机的反求研制[A];第一届全国流体动力及控制工程学术会议论文集（第二卷）[C];2000年

5 文礼;;动车组可靠性技术与维修[A];铁道科学技术新进展——铁道科学研究院五十五周年论文集[C];2005年

6 刘显鹏;;浅谈广播设备全寿命管理[A];2006全国广播电视发射技术论文集（1）[C];2006年

7 李铎;陈皓;杨科;;晶体振荡器的抗振设计[A];中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集[C];2006年

8 冯彦君;华更新;杨桦;周新发;范立明;;国外星载容错计算机技术及最新进展(综述)[A];全国第十二届空间及运动体控制技术学术会议论文集[C];2006年

9 ;中国电子学会可靠性分会[A];2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2007年

10 廖超;来萍;李斌;崔晓英;路香香;;硅脉冲微波功率器件增益退化机理研究[A];2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2007年

相关重要报纸文章 前10条

1 本报记者 陈彬　向杰;高可靠 易维修 好保障[N];科技日报;2009年

2 本报记者 桑雪骐;未来 保修期将变保证期[N];中国消费者报;2010年

3 桑雪骐;家电可靠性开始标准化进程[N];经理日报;2010年

4 科信;可靠性保障工程建设持续推进[N];中国航天报;2009年

5 李铭;新车可靠性明显提升[N];中国交通报;2010年

6 本报记者 贾鹏雷;联想借“可靠性”撬动市场[N];计算机世界;2004年

7 记者 索阿娣 实习记者 王娟;切实提高核心部件可靠性安全性[N];中国航天报;2009年

8 高岚;可靠性第一 稳定性第一[N];中国计算机报;2002年

9 ;提升便携式产品电源管理方案可靠性[N];中国电子报;2009年

10 记者 刘霞;聚焦可靠性 质量上台阶[N];中国质量报;2009年

相关博士学位论文 前10条

1 王金凤;煤矿生产物流系统研究[D];天津大学;2005年

2 金海松;轿车信息集中控制系统的关键技术研究[D];武汉理工大学;2005年

3 赵儆;电力市场中的可靠性理论研究[D];清华大学;2005年

4 唐连生;突发事件下的车辆路径问题研究[D];西南交通大学;2008年

5 万武南;分布式安全存储系统纠删码技术的研究[D];中国科学院研究生院（成都计算机应用研究所）;2006年

6 姚剑波;基于句法分析的安全信息流[D];贵州大学;2006年

7 辛玉红;供应链系统鲁棒性研究[D];中国航天第二研究院;2008年

8 吴艳霞;基于汇编语言的控制流错误检测算法研究[D];哈尔滨工程大学;2008年

9 薛玉霞;数控机床可用性关键技术研究[D];吉林大学;2009年

10 吕晓东;集中式HID电子镇流器及其供电系统的研究[D];浙江大学;2005年

相关硕士学位论文 前10条

1 顾怀怀;金属纳米晶非挥发存储器存储特性的模拟[D];上海交通大学;2008年

2 王少东;计及电网结构改变的可靠性分析及其在綦南电网规划中的应用研究[D];重庆大学;2001年

3 孙国仓;结构与机构中的某些性能参数可靠性研究[D];哈尔滨工程大学;2003年

4 马欣;现役长输管道风险分析技术研究[D];兰州理工大学;2005年

5 纪德洲;131.50.3550型三排滚柱式回转支承的研究与开发[D];中国农业大学;2005年

6 蔡崇锐;金刚石压机温度与压力测控系统研制[D];武汉理工大学;2005年

7 史龙伟;基于数据融合的屋顶网架结构故障诊断研究[D];武汉理工大学;2005年

8 李锋;基于随机有限元的疲劳断裂可靠性研究[D];吉林大学;2005年

9 王明新;铁道车辆车轴可靠性与安全性分析系统[D];西南交通大学;2005年

10 胡敬朋;综采工作面人-机-环境系统可靠性研究[D];安徽理工大学;2005年

本文编号：2670183