支持概率的光刻热点修复数据的存储管理

发布时间：2020-08-15 12:39

【摘要】： 在目前快速发展信息时代,不确定数据的地位和作用越来越大。XML的半结构化、自描述性好及可扩展性高等许多优点,使其在概率数据表示上与关系概率模型相比较占优势。本文将概率数据库的概念引入到实际工作中,对实际工作中的一种用于交换光刻热点数据的文件格式进行改进,从而解决现有的工具运行时间过长等问题。越来越多的客户要求在流片(tape out)之前消除设计规则检查(Design Rule Check,简称DRC)错误和光刻热点(lithography hotspots)。为了达到这个目的,我们公司去年提出一种基于XML的文件格式——光刻热点修复数据文件,该文件是由signoff工具产生,然后布线工具根据该文件的信息去修改版图,从而修正复杂的DRC错误和光刻热点。该文件包括错误描述,和若干种修正指导建议,这些修正指导建议不保证能够修复对应的错误,也就是说每一个建议都有一定的成功概率,我们的布线工具会根据这些建议依次试下来,这样有很多随机性,最差的情况是每一个错误都要试着修正很多次,对运行时间以及内存消耗都有很大影响,当然我们可以要求这些修正建议要按照成功概率依次排列,这样工具就有可能节省运行时间以及内存消耗,但是这样带来的问题是很难进行插入操作。为了克服以上缺点,本文提出了将光刻热点修复数据文件改进成用概率XML。描述,给每一种修正建议付上概率值,从而达到改进运行时间及内存消耗的目的。实验结果表明对于绝大部分design,运行时间和内存消耗都有改进。同时本文研究了将光刻热点修复数据映射到对象模型的规则和方法,根据XML Schema到对象类的映射关系,进而将支持概率的光刻热点修复数据保存到我们的数据库中,该方法方便,直观,为将来光刻热点修复数据文件的扩充提供有力的支持。
【学位授予单位】：复旦大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2009
【分类号】：TP333

【参考文献】