基于PDMS的压电驱动式系列微型泵

发布时间：2017-09-05 19:11

  本文关键词：基于PDMS的压电驱动式系列微型泵

  更多相关文章： 压电 微型泵 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 微流控芯片

【摘要】：为进一步拓展压电微泵的应用领域,以利于更好地将其集成于微流控芯片中,该文对以固态聚二甲基硅氧烷(PDMS)为泵体材料的压电微泵开展相关实验研究。通过合理设计压电振子的支承方式、阀片结构以及采用两腔串、并联结构等措施以提高压电微泵的工作性能。分别以PDMS和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为泵体材料设计制作了单腔微泵、双腔串、并联微泵,并对其工作性能进行对比性实验测试。实验证明,构造具有较好工作性能的PDMS压电微泵具有可行性,在电压90 V,频率80 Hz的情况下,PDMS双腔串联泵的输出流量达到21mL/min,输出压力达到10kPa。但与PMMA为泵体材料的压电微泵相比,PDMS压电微泵在流量、压力方面仍有近30%的差距。
【作者单位】： 吉林大学机械科学与工程学院;长春工业大学机电工程学院;
【关键词】： 压电 微型泵 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 微流控芯片
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51375207)
【分类号】：TH38
【正文快照】： 0引言压电微泵(简称压电泵)是一种利用逆压电效应驱动介质的新型往复式容积泵,具有体积小,响应快,无电磁干扰,输出精度高及易控制等特征[1],是微机械流体系统中的重要执行部件。国内外有关学者对其进行了大量的理论和实验研究,并取得了较大的进展。压电泵的研究和应用主要有两

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 曹炳鑫;张建辉;陈道根;纪晶;;半球缺阻流体无阀压电泵流场分析[J];压电与声光;2014年04期

2 赵天;杨志刚;刘建芳;刘国君;王浩;李思明;;利用压电微泵驱动和脉动混合可控合成金纳米粒子[J];光学精密工程;2014年04期

3 杨潞霞;郝晓剑;王春水;张斌珍;王万军;;具有三维聚焦功能的微流控芯片[J];光学精密工程;2013年09期

4 吴越;杨志刚;刘勇;王兴元;刘磊;;压电振子对压电泵极限输出压力的影响[J];西安交通大学学报;2013年04期

5 贺琳;纪秀;郑文;杨志刚;;新型金属阀在小型压电泵中的应用[J];压电与声光;2011年01期

6 程光明;何丽鹏;曾平;赵建林;杨志刚;阚君武;吴博达;;单晶片主动式放大阀压电泵的设计与实验研究[J];压电与声光;2010年04期

7 程光明;刘国君;杨志刚;董景石;林敬国;;一种利用迭片结构构造的微型压电泵[J];压电与声光;2006年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 黄丹;马玉婷;潘巧生;任艺军;冯志华;;中间固定式双压电晶片大流量压电泵的研究[J];压电与声光;2016年03期

2 刘国君;刘丕浩;李明;梁实海;唐春秀;;基于PDMS的压电驱动式系列微型泵[J];压电与声光;2016年03期

3 李明;刘丕浩;;PDMS压电微泵设计与实验[J];长春工业大学学报;2016年02期

4 徐迎华;李杰超;闫卫平;李伟;肖良平;;磁力驱动串联式双腔微泵设计及性能测试[J];测控技术;2015年08期

5 李立安;董景石;曾平;程光明;吴迪;;微流体混合用双入口压电泵的研制[J];吉林大学学报(工学版);2016年03期

6 祁娜;罗怡;王晓东;王立鼎;;聚合物超声压印非成形面熔融缺陷形成机理及抑制[J];光学精密工程;2015年02期

7 曹炳鑫;张建辉;陈道根;纪晶;;半球缺阻流体无阀压电泵流场分析[J];压电与声光;2014年04期

8 叶雄英;李子尚;冯金扬;马增帅;;基于二氧化硅溅射的PMMA和PDMS亲水改性[J];光学精密工程;2014年08期

9 杨潞霞;毛静;郝晓剑;张斌珍;;一种高效低成本制作三维聚焦微流沟道的方法[J];微纳电子技术;2014年03期

10 孙业明;曾平;程光明;黄合成;;单腔单振子压电泵流量自测量方法研究[J];农业机械学报;2014年03期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 刘焱;接勐;谢海峰;杨志刚;;共振型气体泵用压电振子的疲劳寿命[J];光学精密工程;2013年04期

2 黄俊;张建辉;王守印;;多级“Y”型流管无阀压电泵的原理与试验验证[J];光学精密工程;2013年02期

3 于海霞;栗大超;刘同坤;徐可欣;;基于微流体技术的组织液透皮抽取装置[J];光学精密工程;2011年03期

4 胡芳;孟卫;张燕;张玲艳;王险峰;;金银合金纳米粒子的制备[J];五邑大学学报(自然科学版);2011年01期

5 贺琳;纪秀;郑文;杨志刚;;新型金属阀在小型压电泵中的应用[J];压电与声光;2011年01期

6 商运生;马育红;杨万泰;;微流体反应器制备金纳米粒子的研究[J];北京化工大学学报(自然科学版);2010年06期

7 程光明;何丽鹏;曾平;程明辉;杨志刚;阚君武;;矩形压电振子式主动阀压电泵的设计及其性能[J];吉林大学学报(工学版);2010年03期

8 王平波;宋玉哲;杜雪岩;韩根亮;刘国汉;;不同形貌金纳米粒子的制备及其光谱特性[J];功能材料与器件学报;2010年02期

9 张平;胡亮红;刘永顺;;主辅通道型微混合器的设计与制作[J];光学精密工程;2010年04期

10 杨志刚;张德君;程光明;曾平;;双作用压电薄膜泵[J];哈尔滨工业大学学报;2009年11期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 王克俭,周持兴,赵玫,韩雪华;SHEAR WAVE ATTENUATION IN POLY (DIMETHYL SILOXANE) (PDMS)[J];Journal of Shanghai Jiaotong University;2001年01期

2 李磊,肖泽仪,谭淑娟,张志炳;PERFORMANCE OF CARBON MOLECULAR SIEVE-FILLED PDMS MEMBRANES IN SEPARATING AQUEOUS ACETIC ACID SOLUTION BY PERVAPORATION[J];化工学报;2003年05期

3 谢敏;;PDMS系统在核电站专用阀门领域的应用与探索[J];深圳特区科技;2005年00期

4 ;A Hybrid Silicon-PDMS Micropump Actuated by PZT Bimorph[J];稀有金属材料与工程;2006年S3期

5 ;Hybrid microsystem with functionalized silicon substrate and PDMS sample operating microchannel: A reconfigurable microfluidics scheme[J];Science China(Technological Sciences);2010年08期

6 关艳霞;凌宇;;PDMS气动微泵的研制[J];仪表技术与传感器;2012年11期

7 刘威;纪树兰;高静;张伟;秦振平;;PDMS-b-PPO共聚物膜的组分比对其微观结构及传质特性的影响[J];膜科学与技术;2013年06期

8 关艳霞;刘斌;徐章润;;PDMS气动微型蠕动泵的有限元分析[J];仪表技术与传感器;2007年04期

9 Ut-Binh T. Giang;Michael R. King;Lisa A. DeLouise;;Microfabrication of Bubbular Cavities in PDMS for Cell Sorting and Microcell Culture Applications[J];Journal of Bionic Engineering;2008年04期

10 安斌;;PDMS在冶金建设的运用[J];硅谷;2008年04期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 姜英琪;王晓红;邱新平;钟凌燕;白玉霞;刘理天;;PDMS封装技术在硅基微型直接甲醇燃料电池中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）[C];2005年

2 kP^銟;林奕[，

本文编号：799760