基于温漂补偿模型的原子力图像重构

发布时间：2019-02-25 13:19

【摘要】：针对原子力显微镜(AFM)扫描样品时因受系统温漂影响导致扫描图像失真的问题,提出一种基于温漂补偿模型的AFM图像重构方法。利用AFM图像在快速扫描方向上精度相对较高的特点,关联同一样本的两个不同角度的扫描图像,定义偏移矢量,建立起温漂模型。通过实验仿真验证了该方法有效性,在此基础上校正AFM图像,实验结果表明,该方法能有效降低系统温漂的影响,提高AFM图像质量。
[Abstract]:In order to solve the problem of scanning image distortion caused by systematic temperature drift in atomic force microscope (AFM) (AFM) scanning, a AFM image reconstruction method based on temperature drift compensation model is proposed. Taking advantage of the relatively high accuracy of AFM images in fast scanning direction, two scanning images with different angles of the same sample are associated, the offset vector is defined, and the temperature drift model is established. Experimental results show that the proposed method is effective and the AFM image is corrected. The experimental results show that the proposed method can effectively reduce the temperature drift of the system and improve the quality of AFM images.
【作者单位】： 沈阳建筑大学信息与控制工程学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(61305125) 国家博士后面上基金项目(2013M530955) 国家博士后特别基金项目(2014T70265)
【分类号】：TP391.41

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本文编号：2430219