用于TOF-SIMS的锆石样品图像自动聚焦算法

发布时间：2019-05-12 06:56

【摘要】：为满足现代二次离子质谱仪(SIMS)锆石样品图像自动聚焦系统对聚焦准确度的要求,提出了一种具有自动消除噪声功能的锆石样品图像自动聚焦算法,并将其应用于飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)。该算法包括锆石图像识别分割法、分段式聚焦算法和调焦控制策略。在聚焦远峰区,采用Roberts算子的聚焦评价函数及差分累加的调焦控制策略进行粗调;在聚焦近峰区,捕捉图像中的锆石目标进行识别分割,采用局部坐标算子的聚焦评价函数与爬山法相结合的调焦控制策略进行聚焦细调。实验结果表明:该算法聚焦准确率达99%,可有效抑制噪声干扰,实现了对锆石样品图像的自动、准确聚焦。
[Abstract]:In order to meet the requirements of focusing accuracy in modern secondary ion mass spectrometer (SIMS) zircon sample image automatic focusing system, an automatic focusing algorithm for zircon sample image with the function of automatically eliminating noise is proposed. It is applied to time-of-flight secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS). The algorithm includes zircon image recognition segmentation, segmented focusing algorithm and focusing control strategy. In the far peak region of focus, the focus evaluation function of Roberts operator and the focusing control strategy of difference accumulation are used for rough tuning. In the near peak region of focus, the zircon target in the image is captured for recognition and segmentation, and the focusing control strategy combining the focus evaluation function of the local coordinate operator with the mountain climbing method is used to fine tune the focus. The experimental results show that the focusing accuracy of the algorithm is 99%, which can effectively suppress the noise interference and realize the automatic and accurate focusing of zircon sample images.
【作者单位】： 吉林大学仪器科学与电气工程学院;中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心;中国计量科学研究院;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项项目(2011YQ05006902)
【分类号】：TP391.41

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：2475196