基于正则化主量分析的相移阴影叠栅解调技术

发布时间：2017-06-20 22:05

  本文关键词：基于正则化主量分析的相移阴影叠栅解调技术，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：传统的相移阴影叠栅轮廓术在垂直于光栅面方向移动光栅实现相移,由于相移是非线性的,需要较多帧的条纹图进行相位解调。为了减少条纹图帧数,节约测量时间,并简化测量过程,提出一种基于主量分析法的三帧随机相移阴影叠栅技术。主量分析法通过时域平均去除背景,对较少帧的条纹图直接使用主量分析法会产生直流分量去除误差,因而先将条纹图正则化,再应用主量分析法求取相位。实验表明,相对于直接使用主量分析法,利用正则化主量分析法可以明显减小测量误差。分别使用正则化主量分析法和五步相移法对同一物体表面进行测量,两次测量结果之差在±5μm内,说明了正则化主量分析法的有效性。
【作者单位】： 西安工业大学机电工程学院;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
【关键词】： 衍射 光学三维测量 阴影叠栅轮廓术 主量分析法 相位
【基金】：国家自然科学基金(61471288,51475351) 陕西省自然科学基础研究计划(2015JM5190)
【分类号】：TP391.41
【正文快照】： l引言 阴影叠栅技术是一种全场、非接触的光学三维轮廓测量方法,目前已经发展成为主要的叠栅测量方法,并广泛应用于人体测量、晶圆表面检测、球栅阵列共面度测试、自动生产、航空工业等领域。阴影叠栅包括一个普通光源,一块基准光栅和一个CCD摄像机,结构简单,且测量装置产生

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