快速反射镜的控制技术研究
【学位单位】:中国科学院大学(中国科学院西安光学精密机械研究所)
【学位级别】:硕士
【学位年份】:2018
【中图分类】:TN929.1;TP273
【部分图文】:
第 2 章 快速反射镜系统的结构与性能第2章 快速反射镜系统的结构与性能速反射镜系统的结构文研究的主要对象是由美国 Newport 公司生产的 FSM-300 系列快速反。该系统由两部分组成,分别是 FSM-300 快速反射镜镜体和 FSM-CD3射镜驱动器/控制器,如图 2.1 所示。
图 2.2 快速反射镜镜体实物图与结构图Figure 2.2 Physical and structure map of FSM2.1.1.1 音圈电机音圈电机是为快速反射镜提供驱动力矩的主要部件,镜体中一共在基座装 4 个音圈电机,每个象限安装一个。这种安装方式可以使快速反射镜镜体轴和Y轴两个方向上运动,并且对角线上的两个电机一直处于相反的运动状比单独的电机驱动具有更大更稳定的力矩输出,其结构示意图如图 2.3 所示
11图 2.6 快速反射镜镜体与控制器的连线Figure 2.6 The connection between mirror body and controller2.1.2 快速反射镜驱动器/控制器除了快速反射镜镜体,该控制系统还包括一个型号为 FSM-CD300B 的驱动
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本文编号:2809223
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