飞秒激光辅助制备熔石英表面的网格状微流体

发布时间：2017-12-08 10:06

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【摘要】：报道了一种利用飞秒激光直写后再用化学腐蚀熔石英表面制备得到网格状微流体沟道,然后在其表面覆盖一层PDMS薄膜制备网格状半密闭微流体通道的方法。微流体沟道的形成机制可以定义为飞秒激光辐照导致基底材料改性,而改性区域对HF水溶液的溶解度增强。使用光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)表征了网格状微流体通道的形貌。此外,为了测试该微流体结构的流动特性,进行了液体注入实验。
【作者单位】： 四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所四川省重点实验室;华北光电技术研究所;
【基金】：国家自然科学基金重大项目(No.11574221)资助
【分类号】：TN249
【正文快照】： i引言过去的20年里,由于微流体系统具有小型化和高度集成系统的能力,已经引起了广泛关注。同时,微流体系统可以用于各种化学和生物分析应用[1_3]。作为微-全分析系统U-TAS)[4%关键元件,对于微流体通道的研究是迫切的。光刻法至今依然是制备微流体通道的主要方法,该方法实际上

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本文编号：1265953