氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

发布时间：2017-12-08 15:20

  本文关键词：氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

  更多相关文章： 激光技术 薄膜 准分子激光退火 有限元分析 ZnO 热效应

【摘要】：基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温度场的影响。模拟结果表明,ZnO薄膜的准分子激光退火具有急热骤冷特性,ZnO薄膜表面温度与激光能量密度呈线性增长关系,表面热熔融阈值为261mJ/cm2。
【作者单位】： 中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室;电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室;
【基金】：脉冲功率激光技术国家重点实验室开放研究基金项目(SKL2014KF03)
【分类号】：O484.4;TN249
【正文快照】： 在太阳能电池、平板显示、有机发光器件等领域中,透明电极是关键部件之一。器件的可穿戴性使透明电极的低温处理显得尤为重要,准分子激光辐照技术的引入,为高质量透明电极的低温制备提供了一种可能。在准分子激光对透明电极薄膜材料的辐照过程中,激光束使薄膜快速熔融并重结晶

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 吴东宏,杨玉芬,陆光祖;钡准分子共振电离光谱及离化机制研究[J];光学学报;1988年06期

2 郭振华,李再光,F.K.Tittel,W.L.Wilson,M.C.Smayling;准分子介质中的弛豫振荡(英文)[J];光学学报;1988年12期

3 楼祺洪;准分子激光束的喇曼组束[J];光学学报;1992年12期

4 徐雷,赵有源,王国益,王兆永;钡准分子光谱及其对钡原子跃迁线之贡献[J];光学学报;1989年02期

5 佘辉;有关离子准分子的研究和探讨[J];应用光学;2001年01期

6 高劭宏,赵永蓬,王骐;离子准分子研究的进展[J];激光技术;1999年02期

7 沈建新,胡利刚,廖文和;准分子激光切削角膜的数学模型与切削技术研究[J];激光生物学报;2003年01期

8 江超;;微空心阴极放电构成的紫外准分子灯[J];湖北师范学院学报(自然科学版);2006年02期

9 韩理,张连水,赵晓辉,李晓苇,董丽芳,傅广生;放电等离子体中XeI~*准分子的形成过程[J];中国激光;2002年04期

10 赵永蓬,王骐,刘金成;电子束抽运Ar_2~+离子准分子的动力学过程[J];中国激光;2003年05期

中国博士学位论文全文数据库 前3条

1 庄晓波;氪—卤素准分子紫外光源的特性研究[D];复旦大学;2010年

2 冯祥芬;准分子紫外光源及其降解废水废气的研究[D];复旦大学;2005年

3 杨梅;准分子紫外辐射对纺织品的表面改性[D];东华大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库 前3条

1 方雪慧;准分子灯光催化降解难降解有机污染物[D];江苏理工学院;2016年

2 林莲萍;准分子激光微加工像面定位及Z轴跟踪系统的设计[D];北京工业大学;2016年

3 陈古源;纳秒脉冲驱动准分子光源的实验及模型研究[D];复旦大学;2011年

，

本文编号：1266866