回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法

发布时间：2017-12-15 21:35

  本文关键词：回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法

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【摘要】：介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统,基于Fizeau(菲索)干涉原理,通过一高精度直角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360°回转圆柱的表面形貌,并且无需图像拼接,可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析,及Matlab软件数值仿真,建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量,测试结果经过主成分误差校正后,与Taylor Hobson接触式圆柱度仪的测量结果一致,通过最小二乘圆(LSC)的圆度评定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明:该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面形貌的测量,解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;上海理工大学光电信息与计算机工程学院;苏州慧利仪器有限责任公司;
【基金】：国家科技重大专项(2013YQ150829) 上海市科研计划项目(14140502500)
【分类号】：O436.1
【正文快照】： 3.苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123)0引言柱面是特殊的非球面,其子午线始终沿圆柱轴线方向。高精度的柱面元件由于其自身的优越特性,广泛应用在测试计量、航空航天、工业加工等领域中[1-3]。尤其随着空气轴承与精密惯性技术的不断发展,精密轴类零件的优越性和重要性

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

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2 谢洪波;吕二阳;祝晓晨;李勇;姚丽娟;;一种激光二极管像散光束准直整形方法研究[J];激光技术;2013年04期

3 林俊义;江开勇;顾永华;黄常标;;光栅投影轮廓术的精度分析及应用[J];光电工程;2008年05期

4 孙侠菲,余景池,丁泽钊,郭培基;超光滑硅柱面反射镜的加工和检测[J];光学技术;2001年06期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 孙昊;韩森;唐寿鸿;王芳;;回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法[J];红外与激光工程;2017年07期

2 孙昊;韩森;唐寿鸿;王芳;殷留留;;干涉测量圆柱内表面的失调误差分析[J];光学学报;2017年01期

3 王振;韩蒙蒙;彭浩;唐霞辉;;射频板条CO_2激光器整形光路自适应调节研究[J];激光技术;2015年04期

4 殷智勇;强希文;汪岳峰;江钰;徐云岫;宗飞;封双连;胡月宏;;基于像散曲面微透镜的半导体激光准直研究[J];激光技术;2015年04期

5 郑旭;左春柽;周晓勤;;双光子聚合加工的光路模拟[J];激光技术;2015年03期

6 徐金凤;张玉钧;何莹;尤坤;高彦伟;;基于ZEMAX的气体光学吸收池的设计与优化[J];红外技术;2015年04期

7 张彦超;付秀华;贾宗合;王晓娟;马可;;非球面制造中的加工误差修正补偿[J];长春理工大学学报(自然科学版);2015年01期

8 付秀华;崔金迪;贾宗合;;光束整形系统异形元件的研制[J];中国光学;2014年03期

9 赵爽;付秀华;贾宗合;;单晶硅柱面反射镜的加工与检测[J];长春理工大学学报(自然科学版);2013年Z2期

10 周波;乔付;饶龙;刘忠艳;;基于均值pwm的正弦光栅的设计与分析[J];中南大学学报(自然科学版);2013年S1期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 黄亚;马骏;朱日宏;沈华;高志山;;基于计算全息的光学自由曲面测量不确定度分析[J];光学学报;2015年11期

2 于瀛洁;许海峰;彭军政;;柱面面形干涉测量[J];计量学报;2015年05期

3 张磊;田超;刘东;师途;杨甬英;沈亦兵;;非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术[J];光学学报;2014年08期

4 谢洪波;吕二阳;祝晓晨;李勇;姚丽娟;;一种激光二极管像散光束准直整形方法研究[J];激光技术;2013年04期

5 陈国;赵长明;纪荣yN;李鲲;罗雄;白羽;;基于ZEMAX的半导体激光准直仿真设计[J];激光技术;2012年03期

6 高t@含;安志勇;李娜娜;赵伟星;王劲松;;高斯光束整形系统的光学设计[J];光学精密工程;2011年07期

7 郑盼;杨应平;郜洪云;陶艳;;基于伽利略结构的二级激光扩束系统的设计[J];应用光学;2008年03期

8 徐强;曾晓东;安毓英;曹长庆;;LD光束在自聚焦透镜中的传输特性[J];光子学报;2007年S1期

9 黄燕群,田爱玲;光栅投影测量物体三维轮廓的条纹中心线相对偏移量的获取[J];应用光学;2004年06期

10 林俊义,黄常标,江开勇;一种提高光栅投影轮廓术精度的方法[J];光电工程;2004年07期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 张山;谭久彬;王雷;程陶;;激光直写中误差校正迭代方法的改进(英文)[J];光学精密工程;2010年02期

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本文编号：1293516