氧等离子体反应器中氧化铝电介质特性

发布时间：2017-12-20 00:19

  本文关键词：氧等离子体反应器中氧化铝电介质特性　出处：《电工技术学报》2017年08期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 介质阻挡放电 电介质 活性氧粒子 氧化铝陶瓷

【摘要】：绝缘电介质层是氧等离子体反应器中的重要组成部分,高性能的电介质材料保证了氧等离子体反应器能够高效、稳定的运行。本文对氧化铝电介质材料的特性以及氧等离子体反应器长时间工作后电介质材料的特性变化进行了研究。结果表明,α-Al_2O_3电介质层表面光滑平整、无缺陷,相对介电常数约为9.79,具有较高的体积电阻率和表面电阻率,损耗因数很小,有利于氧等离子体反应器效能的提升;长时间工作后的α-Al_2O_3电介质层基底表面结构、相对介电常数与体积电阻率基本不变,但其表面会附着一层由316L不锈钢电极表面溅射产生的黄褐色固态颗粒物,降低电介质层的表面电阻率。研究结果对优化氧等离子体反应器具有一定的意义。
【作者单位】： 大连海事大学轮机工程学院;大连海事大学物理系;
【基金】：国家科技支撑计划(2013BAC06B02) 海洋公益性行业科研专项经费项目(201305027-5) 国家自然科学青年基金(51309039) 国家重大科研仪器研制项目(61427804) 上海市曙光计划(15SG44)资助
【分类号】：O539
【正文快照】： 0引言利用介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,DBD)产生高浓度活性氧粒子(O3,O2+,O2-等),配合高效的气液混溶技术高效产生羟基自由基,实现高级氧化技术,可被应用船舶压载水处理领域[1,2]。此外,活性氧粒子也被应用于生活饮用水消毒处理[3,4]、废气中硫化物和氮氧化物

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈维;黄骏;李辉;吕国华;王兴权;张国平;王鹏业;杨思泽;;氦-氧等离子体针灭活肺癌A549细胞[J];物理学报;2012年18期

2 王君;方敏;;氧等离子体平均离化度随温度、密度的变化关系[J];江苏师范大学学报(自然科学版);2014年02期

3 杨明京,周成飞,乐以伦;低温等离子体改善血液透析中空纤维膜——(Ⅰ)氧等离子体对聚丙烯中空纤维膜的表面改性[J];生物医学工程学杂志;1989年04期

4 牟其伍,陈武呜;氧等离子体处理对淬火YBa_2Cu_3O_y的影响[J];低温物理学报;2000年04期

5 欧阳建明;邵福球;林明东;;含氧等离子体中臭氧形成过程数值模拟[J];物理学报;2008年05期

6 王廷鉴;射频氧等离子体中SiO_2的生长[J];四川大学学报(自然科学版);1988年01期

7 谢茂浓,彭志坚,唐琳,傅鹤鉴;一种制备SiO_2膜的方法——氧等离子体处理聚硅烷涂层[J];四川大学学报(自然科学版);2000年06期

8 刘春荣,汪光纯;氧等离子体阳极氧化SiO_2膜的红外吸收带[J];红外研究;1984年02期

9 刘陈;朱光喜;刘德明;;氧等离子体处理对ITO薄膜表面性能的影响[J];液晶与显示;2006年04期

10 刘春荣;硅上SiO_2膜的红外吸收光谱[J];红外研究(A辑);1985年03期

中国重要会议论文全文数据库 前5条

1 欧阳建明;邵福球;林明东;;氧等离子体中臭氧形成过程数值模拟[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年

2 俞哲;杨海东;田一平;杜还;张芝涛;许少杰;;大气压DBD氧等离子体反应器模块化构建技术与放电模式探讨[A];第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集[C];2013年

3 顾广瑞;金逢锡;李全军;盖同祥;李英爱;赵永年;;氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年

4 张卫;王鹏飞;张庆全;丁士进;王季陶;;氧等离子体处理对低介电常数SiOF薄膜性能的影响[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年

5 李卫青;顾广瑞;李英爱;何志;冯伟;刘丽华;赵春红;赵永年;;氢、氧等离子体处理对氮化硼薄膜场发射特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 易颜辉;氢氧等离子体直接合成H_2O_2的反应机理[D];大连理工大学;2014年

2 周军成;氢氧等离子体法直接合成过氧化氢及其在丙烯气相环氧化中的应用[D];大连理工大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库 前9条

1 张志鹏;分区激励氧等离子体反应器阵列应用特性研究[D];大连海事大学;2016年

2 衡婷;窄带隙有机聚合物太阳能电池的制备和优化[D];西安电子科技大学;2015年

3 李声耀;射频容性耦合氧等离子体改性聚合物表面的老化行为研究[D];大连理工大学;2012年

4 何钱军;氧等离子体清洗对sol-gel薄膜透过率和表面性质的影响[D];四川大学;2005年

5 杨鸣;高氧浓度下氢氧等离子体直接合成过氧化氢[D];大连理工大学;2010年

6 许少杰;大气压DBD氧等离子体反应器构建技术研究[D];大连海事大学;2013年

7 肖丹;射频放电氧等离子体特性研究[D];华中科技大学;2007年

8 吴艳;氧等离子体处理医用膨体聚四氟乙烯膜后的细菌粘附性能变化[D];第四军医大学;2010年

9 赵斌;板式介质阻挡放电氢氧合成过氧化氢的研究[D];大连理工大学;2009年

，

本文编号：1310020