微腔激光器Al和Ag电极的光电学特性研究

发布时间：2017-12-23 15:47

  本文关键词：微腔激光器Al和Ag电极的光电学特性研究　出处：《电子测量与仪器学报》2017年08期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：III-V族微腔激光器中的P型金属电极通常采用的Ti-Pt-Au的合金方式,而其中的Ti层对通信波长1 550 nm的激光具有很强的吸收,不适合在高密度光子集成器件中使用。为了代替传统的合金方式,采用二维解析法计算单一金属Al和Ag金属限制下的微腔中光学模式品质因子,发现这两种新型电极具有更小损耗。另外在实验上分别制作金属Al和Ag的电极的微腔激光器,得到与理论预测一致的测试结果。由于这两种电极价格便宜,工艺简单并与CMOS工艺相容,因此在光子集成器件中具有很高的应用前景。
【作者单位】： 北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心;
【基金】：国家自然科学基金面上项目-基于光纤光栅的飞机结构载荷谱构建新方法研究(54675053) 长江学者和创新团队发展计划(IRT1212,光电信息与仪器) 北京市重大科技计划项目(PXM2013-014224-000077,PXM2012-014224-000019)资助
【分类号】：TN248
【正文快照】： 0引言随着光子集成技术的发展,各种微型的具有高品质因子的光学结构成为近年重点研究对象,如基于回音壁模式的微盘[1]、光子晶体[2]和DBR的垂直面发射激光器[3]等。为了适应高密度光电集成的需要,金属限制的波长和亚波长尺寸的谐振腔得到很快的发展[4-8],例如具有三明治结构的

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本文编号：1324499