零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制

发布时间：2017-12-23 17:10

  本文关键词：零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制　出处：《光学精密工程》2017年05期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 全息曝光 零差移频式干涉图形相位锁定系统 系统辨识 高阶线性拟合 微振动 PID控制

【摘要】：利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。
【作者单位】： 清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.51677104) 中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885)
【分类号】：TN25;TP273
【正文快照】： 1引言作为惯性约束核聚变激光驱动装置脉冲压缩器[1]、193ArF浸没式步进扫描光刻机[2-3]的核心器件,大口径高精度全息平面光栅具有非常重要的应用。目前,大口径全息曝光法[4-5]及其衍生方法[6-9]是制造这类光栅的主要方法。用全息曝光法制造光栅时,环境波动、振动等外界干扰会

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 周朴;王小林;马阎星;马浩统;许晓军;刘泽金;;随机并行梯度下降算法实现16路光纤激光相位锁定[J];中国激光;2010年02期

2 邢锦云;;斜列波导通道耦合的相位锁定激光列阵[J];激光与光电子学进展;1993年01期

3 王自鑫;谢向生;郭晶;李鸣;周建英;;激光光场的大行程相位锁定及控制系统[J];光学学报;2006年06期

4 薛宇豪;周军;何兵;李震;漆云凤;刘驰;楼祺洪;;基于空间滤波的光纤激光被动相位锁定技术研究[J];物理学报;2010年11期

5 徐勇根;李育德;邱毅;冯婷;郭伟;付福兴;;轴对称折叠组合CO_2激光器的相位锁定及其输出特性的研究[J];激光与红外;2008年07期

6 ;任意两束非相干光的相位锁定技术[J];光学与光电技术;2011年01期

7 马养武;开槽式相位锁定被导列阵CO_2激光器[J];光学仪器;1995年Z1期

8 马养武;特殊构型的相位锁定波导列阵CO_2激光器[J];中国激光;1994年09期

9 陈淑嫒;;激光器频率的相位锁定[J];长春光学精密机械学院学报;1982年02期

10 ;[J];;年期

相关博士学位论文 前1条

1 曹涧秋;自组织固态激光器阵列的调频混沌和相位锁定物理机制的研究[D];国防科学技术大学;2010年

，

本文编号：1324751