近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作

发布时间：2018-01-02 23:17

本文关键词：近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作　出处：《西南大学学报(自然科学版)》2017年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：利用硅的各向异性湿法腐蚀性质,在偏晶向(111)硅基底材料上,设计并制作了闪耀角为8°、周期为4μm的近红外闪耀光栅.设计时考虑了光栅顶部平台对光栅衍射效率的影响,修正了光栅的闪耀角.制作时利用一次性氧化削尖的方法,减少光栅顶部平台的宽度,以提高光栅的衍射效率.利用扫描电子显微镜(SEM)进行光栅形貌测试,结果表明:制作的光栅具有平滑的光学表面和良好的光栅槽形.对光栅进行衍射效率测量,当入射波长为1 392nm时,衍射效率能达到70%以上,表明光栅具有很高的衍射效率,能满足微型近红外光谱仪的使用要求.
[Abstract]:Using anisotropic wet etching properties of silicon in partial crystal orientation (111) silicon materials, design and production of the blazed angle is 8 degrees, cycle for near infrared blazed grating is 4 m. The design is considered the top platform of grating diffraction efficiency of grating, the grating blazed angle correction method of disposable. Making use of oxidation sharpening, reduce the width of the platform at the top of the grating, in order to improve the diffraction efficiency of the grating. By using scanning electron microscopy (SEM) morphology of grating testing, results show that the fiber grating has a smooth surface and good optical grating groove. By measuring the diffraction efficiency of grating, when the incident wavelength is 1 392nm, the diffraction efficiency can reach more than 70%, shows that the grating with high diffraction efficiency, can satisfy the use of miniature near-infrared spectrometer requirements.

【作者单位】：西南大学电子信息工程学院;重庆大学微系统研究中心;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61327002) 中央高校基本科研业务费专项资助项目(XDJK2012C047)
【分类号】：TN25
【正文快照】： 近红外光谱分析技术在现代农牧业、食品安全、生物医药、石油化工、环境监测、航空航天等领域都有非常重要而广泛的应用[1-5].作为近红外光谱分析检测仪器的微型近红外光谱仪,本身具有体积小、质量轻、探测速度快、性能稳定、可集成化、可批量化制造以及成本低廉等优点,与传统

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