脉冲调制对大气压射频辉光放电稳定性的影响
本文关键词：脉冲调制对大气压射频辉光放电稳定性的影响 出处：《东华大学学报(自然科学版)》2017年02期 论文类型：期刊论文
【摘要】：大气压射频辉光放电的不稳定性是限制其应用的主要原因,脉冲调制射频技术有助于提高放电稳定性.通过试验诊断放电电学特性,进一步研究了大气压脉冲调制射频辉光放电中脉冲调制参数对放电稳定性的影响.当固定调制脉冲频率而降低占空比时,特别是当射频放电段工作在起辉阶段时,α放电模式的电压和电流范围都增加;当射频频率提高时也有助于增加射频放电工作在α模式的电流范围.在试验中固定电压幅值,研究射频频率在5、10和15 MHz时α-γ放电模式转变随占空比的变化,验证了在低占空比下可以获得更稳定的α模式放电,另外在氦气中掺入1.5%氮气的情况下获得了脉冲调制射频辉光放电稳定工作在α模式.研究结果表明,通过调制脉冲参数可以控制大气压脉冲调制射频辉光放电的稳定性.
[Abstract]:The instability of RF glow discharge at atmospheric pressure is the main reason for limiting its application . The pulse modulation radio frequency technology helps to improve the discharge stability . When the frequency of radio frequency decreases , the voltage and current range of 伪 - discharge mode are increased . In addition , when the radio - frequency frequency increases , a more stable 伪 - mode discharge can be obtained . In addition , when the RF frequency is increased , the stability of RF glow discharge can be controlled at 5 , 10 and 15 MHz . The results show that the stability of the pulse - modulated RF glow discharge can be controlled by the modulation of the pulse parameters .
【作者单位】： 东华大学材料科学与工程学院;东华大学理学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(11475043,11375042)
【分类号】：O461.21
【正文快照】： 大气压射频辉光放电(RF APGDs)是产生大气压低温等离子体的放电形式之一[1-2],相对于激发频率在千赫兹范围的大气压介质阻挡放电和高压脉冲放电[3-4],由于其具有等离子体密度高的特性,在材料表面处理、薄膜沉积和生物灭菌等应用方面都体现出较高的处理效率[5-6].但是大气压射
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，本文编号：1381473
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