薄膜元件基底断点划痕的激光辐照效应

发布时间：2018-01-15 06:16

  本文关键词：薄膜元件基底断点划痕的激光辐照效应　出处：《中国科学:技术科学》2017年09期 　论文类型：期刊论文

  更多相关文章： 高功率激光 划痕 激光辐照 时域有限差分

【摘要】：建立了断点划痕的正棱锥模型,在355 nm激光辐照下,用三维时域有限差分法研究了熔石英后表面具有不同棱角的断点划痕对场分布的调制作用.结果表明,电场强区分布在棱边一侧,深度在亚表面层2λ内.相同情况下,边边相对,比角角相对和边角相对具有更大的调制强度.随着棱角数目的增多,需要更大的坑点间距才能获得调制最大值.研究表明这类划痕诱导的最大电场幅值为入射波的3.70倍,可采用酸蚀或者CO_2激光辐照钝化棱角的方法来减小调制.
[Abstract]:A positive prism model of breakpoint scratch was established and irradiated by 355 nm laser. The modulation of field distribution by scratches with different edges on the surface of fused quartz is studied by using 3D finite-difference time-domain method. The results show that the strong electric field is distributed on one side of the edge. The depth is in the subsurface layer 2 位. In the same case, the edge relative, the ratio angle relative and the edge angle have greater modulation intensity, with the increase of the number of edges. The maximum amplitude of electric field induced by this kind of scratch is 3.70 times that of incident wave. The modulation can be reduced by acid etching or CO_2 laser passivation.
【作者单位】： 西南民族大学电气信息工程学院;西南民族大学药学院;
【基金】：西南民族大学中央高校基本科研业务费专项资金(编号:2017NZYQN25)资助项目
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言在高功率激光技术中,熔石英元件被广泛采用m元件光学面在抛光过程中,由于摩擦作用,产生亚表面损伤并形成划痕[MI.挡缺陷区域镀上光.学薄膜时,由'于高峰值功率激光的辐照,可出现强场区或热分布集中咬从而诱导光学元件产生激光辐照损伤,进而大幅度地限制激光装崖的负载能力

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本文编号：1427137